第四章扫描电子显微镜及电子探针课程.ppt

* 电子光学系统包括： 电子枪、电磁透镜、扫描 线圈、样品室 * 电子枪发出的电子束，以栅极聚集后，在加速电压的作用下，经二到三个电磁透镜组成的光学系统，电子束会聚成一个很细的电子束射在样品表面。 在末级透镜上安装有扫描线圈，在其作用下使电子束在样品表面扫描，产生各种信息，分别用相应的收集器收集，经放大送到显像管的栅极上，调制其亮度。 注意：扫描线圈的电流与显像管上相应的亮度是同步的。 * 强磁透镜 聚焦作用 弱磁透镜 焦距长 空间大、方便装入探测器 * Secondary detector (ETD) * 扫描电子显微镜中各电磁透镜都不作成象透镜用，它们的功能只是把电于枪的柬斑(虚光源)逐级聚焦缩小，使原来直径约为50mm的束斑缩小成一个只有数个纳米的细小斑点，要达到这样的缩小倍数，必需用几个透镜来完成。 扫描电子显微镜一般都有三个聚光镜：前两个聚光镜是强透镜,可把电子束光斑缩小;第三个透镜是弱透镜,具有较长的焦距。 布置这个末级透镜(习惯上称之为物镜)的目的在于使样品室和透镜之间留有一定的空间，以便装入各种信号探测器。 * 　　扫描电子显微镜中照射到样品上的电子束直径愈小，就相当于成象单元的尺寸愈小．相应的分辨率就愈高。采用普通热阴极电子枪时，扫描电子束的束径可达到6nm左右。若