かごしま材料学研究会第6回講習会-日本材料学会九州支部.docVIP

かごしま材料学研究会第回 　益々ご清栄のこととお喜び申し上げます．近年，加工製品の表面形状や仕上げの高精度が求められるようになり，３次元の計測ならびにその規格化も行われています．今回の講習会では，鹿児島県工業技術センター所有の2台の測定機に加え，測定原理の異なる3台の非接触表面性状測定機を用いて，非接触三次元表面性状測定技術を紹介いたします．非接触方式による形状測定に加え，最近，新たに規格化された三次元表面性状国際規格ISO 25178-6 について紹介し，実機を用いたデモを含めて解説いたします．ご多忙中のこととは存じますが，ご関心がありましたらどうぞご参加ください． 開催概要 日　　時：11:00～16:35産学官連携推進センター 参加申込：添付の書式をご利用のうえ，ご氏名，ご所属ならびに連絡方法（メールアドレスが好ましいです）をメールまたはファックスにてお申込みください． 申込締切：平成２８年７月７日（木）（定員を大きく越える場合にはお断りすることもございます）． 案内及び申込書は，日本材料学会九州支部のホームページ（http://kyushu.jsms.jp/）からもご覧，ダウンロードできます． 内　　容： 13：00～13：0513：05～13：1513：15～13：45 ISO 25178-2（用語、定義及び表面性状パラメータ） ISO 25178-3（完璧な仕様オペレータ） ISO 25178-6（測定法の分類） 【講師　ISO/TC213国内対応委員） 13：45～14：25 ISO 25178-604Coherence scanning interferometry,CSI） 【実機展示】ZYGO 社 非接触三次元光学プロファイラーシステムZeGage Plus 【講師　　氏 14：25～15：05　　 ISO 25178-605Point autofocus profiling） 【実機展示】非接触表面性状測定装置　PF-60 【講師　15：05～15：2015：20～16：00 ISO 25178-607Confocal microscopy） 【実機展示】3D測定レーザ顕微鏡　LEXT OLS4100 　　【講師】オリンパス株式会社　小河　亮介　氏 16：00～16：0516：05～16：35 ※　実機展示につきましては、11:00～16:35まで常時開放しておりますので，データ取り等は各装置担当者にお気軽にお申し付け下さい。 実機展示設備の概要 ■垂直走査型低コヒーレンス干渉法について ISO25178-604 coherence scanning interferometry 垂直走査型低コヒーレンス干渉法 2013.07.24 標準化 この測定方式は、白色光源を使用します。多数の波長の光がまざりあった干渉縞は位相のそろった1 点で最高輝度となります。干渉対物レンズをZ 方向にスキャンし，この時の輝度情報を視野全体にわたって取得します。この方式は対物レンズの倍率に依らず均一な垂直分解能を有し，短時間で測定が行えます。 　http://cweb.canon.jp/indtech/zygo/lineup/zegage/index.html ■ポイントフォーカス法について ISO25178-605 point autofocus probe ポイントオートフォーカス法 2014.02.01 標準化 この測定方式は、レーザー光源を使用します。対物レンズを通ったレーザー光が焦点高さで集光して常に微小な点（ポイント）光源となる様に対物レンズの高さを制御し，XYZ ステージを走査させてその座標位置を読み込む事で表面形状を取得します。この方式はステージ走査による高精度，広範囲測定が可能です。 　http://www.mitakakohki.co.jp/industry/pf/lineup/pf-60.html ■レーザー顕微鏡について ISO25178-607 Confocal Microscopy 共焦点顕微鏡法 今後標準化予定 この測定方式は，レーザー光源を使用します。測定物からの反射光の最大光量は，焦点があった高さのみピンホールを通過しこれを光検知器で取得します。平面分解能にすぐれた対物レンズを使用することにより，急斜面の形状測定にも対応出来ます。 /ja/metrology/ols4100/ 当所所有設備 ■走査型白色干渉法　ZYGO 社NewView 5032 http://www.kagoshima-it.go.jp/~iwamoto/NewView5032_H26.pdf ■焦点移動法　alicona社　infinite focus G5 http://eurotechno.co.jp/produc