电池片工艺流程培训分解.pptx

电池片制程工艺流程及控制点 1 Nov 2010 许志法 Outsourcing Quality 2 太阳电池的工作原理 ——光生伏特效应 吸收光子，产生电子空穴对。 电子空穴对被自建电场分离，在PN结两端产生电势。 将PN结用导线连接，形成电流。 在太阳电池两端连接负载，实现了将光能向电能的转换。 3 太阳能电池工艺基本流程 去除硅片表面油渍、金属杂质及损伤层，生成绒面，减少光反射，增加光吸收 形成PN结 刻蚀边沿N型硅并去除因扩散生成的PSG 减少反射，钝化界面 形成电极 一 前清洗 4 5 前清洗的功能 前清洗(制绒)的目的： 形成绒面，减少光的反射，增加硅片对太阳光的吸收,最终提高电池的光电转换效率 去除硅片表面的机械损伤层 清除表面油污和金属杂质 绒面陷光原理图 去除机械损伤层 6 前清洗制绒后的绒面 多晶酸制绒后wafer表面形貌 单晶碱制绒后wafer表面形貌 金字塔状 蜂窝状 7 前清洗工序步骤和作用（酸制绒） 8 1）工序步骤 制绒→碱洗 →酸洗→吹干 2）用到化学品：硝酸HNO3，氢氟酸 HF， 氢氧化钾KOH，盐酸HCL 3） 单面腐蚀深度 3.2-4.2微米 4）滚轮速度范围 0.5~1.5m/min (注:前清洗速度最好不要超过1.2m/min，速度过快，