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第三章 粒子（束）与材料的相互作用 * 3.1 电子束与材料的相互作用 电子束是一种最常用的入射激发源之一。入射电子照射固体时与固体中粒子相互作用，它包括： （1）入射电子的散射； （2）入射电子对固体的激发； （3）受激发粒子在固体中的传播。 3.1.1 散射 入射电子照射固体时将与固体中的电子、原子核等作用而发生散射。与辐射的散射一样，电子散射同样有弹性和非弹性散射之分。 1、弹性散射 设原子的质量为M，质量数（质子数与中子数之和）为A，碰撞前原子处于静止状态。电子质量与原子质量的比值为me/M=1/1836A。根据动量和能量守恒定理，入射电子与原子（核）碰撞后的最大能量损失可表示为 （3-1） 式中：E0—入射的电子能量； θ—半散射角，散射角（2θ）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 原子核对电子的散射一般情况下均可视为弹性散射。 2、非弹性散射 当入射电子与原子中电子的作用成为主要过程时，由于作用粒子的质量相同，散射后入射电子的能量发生显著变化，这种过程称为非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子把部分能量转移给原子，引起原子内部结构的变化，产生各种激发现象。因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。 3、散射截面 入射电子被原子核散射时，散射角2θ的大小与瞄准距离（电子入射方向与原子核的距离）rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关。如图3-1所示，其关系为 或 (3-2) 图3-1 电子散射示意图 （a）与原子核作用；（b）与核外电子作用 由上式可知，当入射电子作用在以原子核为中心，rn为半径的圆内时将被散射到大于2θ的角度以外，故可用 (以原子核为中心、rn为半径的圆的面积）来衡量一个孤立原子核把入射电子散射到大于2θ角度以外的能力。 由于电子与原子核的作用表现为弹性散射，故将 叫做弹性散射截面，用σn表示。 当入射电子与核外电子作用时，散射角为 或 （3-3） 同理，可用 来衡量一个孤立核外电子把入射电子散射到2θ角以外的能力，并称 (re是入射电子对核外电子的描准距离） 为核外电子的非弹性散射截面，用σe表示。 对一个原子序数为Z的孤立原子，弹性散射截面为σn，非弹性散射截面则为所有核外电子非弹性散射截面之和Zσe。 由式（3-2）与式（3-3）可得 因此，原子序数越高，产生弹性散射的比例就越大。 4、电子吸收 电子吸收主要指由于电子能量衰减而引起的强度（电子数）衰减，显然不同于X射线的“真吸收”。 电子被吸收时所达到的深度称为最大穿入深度（R）。 图3-2 入射电子在固体中传播时的能量损失曲线 （E0=1keV、3keV、5keV和8keV） 单位入射深度电子能量变化（dE/dz)与入射深度（z）的关系如图3-2所示。曲线与横坐标的交点即为入射电子的最大穿入深度。 3.1.2 电子与固体作用产生的信号 弹性散射和非弹性散射同时发生。前者使电子偏离原来方向引起电子在固体中扩散；后者使电子能量逐渐减小，直至被固体吸收，从而限制了电子在固体中的扩散范围，这个范围称为电子与固体的作用区。 扫描电子显微镜和其它相关分析技术检测的各种信号和辐射正是来自这个作用区。 1、电子与固体作用产生的信号 入射电子与固体作用区及其与固体作用产生的信号可用图3-3简单描述。 图3-3 入射电子束与固体作用产生的发射现象 I0是入射电子流，单位是A。描述入射电子的另一物理量是电子束流密度，单位是A/cm2。在强聚焦的情况下，电子束流密度很高，而总的电子流往往很小。 IR为背散射电子流，它是入射电子与固体作用后又离开固体的总电子流。背散射电子主要由两部分组成，一部分是被样品表面原子反射回来的入射电子，另一部分是入射电子进入固体后通过散射连续改变前进方向，最后又从样品表面发射出去的入射电子。 IS表示二次电子流，它包括入射电子从固体中直接击出的原子核外电子和激发态原子退回基态时产生的电子发射。前者称为二次电子，它们的能量较低，强度按能量连续分布；后者称为特征二次电子，它们的能量取决于原子本身的电子结构，取一些分立的能量值。 从表面发射出去的二次电子流与入射电子流的比值（IS/I0）称为二次电子产额，用?表示。 图3-4 二次电子产额与电子能量和入射角的普遍关系 在某一能量范围内（EC1EEC2）二次电子产额大于1，随着α（入射束与样品表面法线的夹角）的增大二次电子产额曲线的极大值增大，并向高能方向推移。 IX表示电子激发诱导的X射线辐射强度。 ①连续的X射线 ②特征X射线 ③X射线荧光（二次特征X射线） IE表示表面元素发射的总强度。 IA为样品吸收电流。入射电子在固体中传播时，能量逐渐减小，最后失去全部动能，被样品“吸收”。 IT为透射电子流。当样品的厚度小于入射