薄膜物理课件2蒸发源的类型.pptVIP

蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 第四节　合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 一、合金的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 * 二、电子束蒸发源 电阻加热蒸发源缺点 (1) 来自加热装置、坩埚等可能造成的污染 (2) 电阻加热法的加热功率或加热温度也有一定的限制 电子束蒸发克服了电阻加热法的上述两个缺点，特别适合制备 高熔点薄膜材料和高纯薄膜材料 要制备纯度很高的薄膜材料，以及蒸镀某些难熔金属和氧化 物材料时，采用电阻加热蒸发源不能满足要求 电子束蒸发是将蒸发材料放入水冷铜坩埚中，直接利用电子束 加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面成膜，是真空蒸 发镀膜技术的一种重要的加热方法和发展方向 电子束加热原理与特点 电子束加热原理是基于电子在电场作用下，获得动能轰击处于 阳极的蒸发材料上，使蒸发材料加热气化，从而实现蒸发镀膜 若不考虑发射电子的初速度，则有 U：电子的加速电压 e