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* * 第三章 先进制造工艺技术 第三节 超精密加工技术 加工精度的进化 一、概述 ◆精密加工 —— 在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到较高程度的加工工艺。 超精密加工 —— 在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到最高程度的加工工艺。 ◆瓦特改进蒸汽机 —— 镗孔精度 1mm 20 世纪 40 年代 —— 最高精度 1μm 20 世纪 末 —— 精密加工：≤0.1μm，Ra ≤0.01μm（亚微米加工） 超精密加工：≤ 0.01μm ，Ra≤ 0.001μm（纳米加工） ◆微细加工 —— 微小尺寸的精密加工 超微细加工 ——微小尺寸的超精密加工 零件 加 工 精 度 表面粗糙度 激光光学零件 形状误差 0.1μm Ra 0.01～0.05μm 多面镜 平面度误差 0.04μm Ra ＜0.02μm 磁头 平面度误差 0.04μm Ra ＜0.02μm