2.6压电式检测元件剖析.pptVIP

2.检测技术与检测元件 基本要求 力敏感传感器，可测如力、压力、加速度等 双向传感器 体积小、重量轻 结构简单、工作可靠 频响宽 最常用的压电材料是石英晶体和压电陶瓷 压电效应演示 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同； 当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 1、顺压电效应：一些电介质，在受到一定方向的外力作用而变形时，内部产生极化现象，而在其表面产生电荷，当去掉外力后，又重新回到不带电状态，这种将机械能转换成电能的现象，称为顺压电效应或正压电效应，又称为压电效应。 2、逆压电效应：当在电介质极化方向施加电场时，电介质在一定方向上产生机械变形，内部出现机械应力，这种将电能转换成机械能的现象称逆压电效应,又称为电致伸缩效应。 天然形成的石英晶体外形（续） (2)石英晶体的三个晶轴 光学轴（基准轴，Z轴）：光沿该方向通过没有折射现象，该方向没有压电效应，光学方法确定。 机械轴（Y轴）：垂直xz面，在电场作用下，该轴方向的机械变形最明显。 电轴（X轴）：经过晶体棱线，垂直于该轴的表面上压电效应最强。 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 当晶片在沿X轴的方向上受到压缩应力sxx的作用时，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。 在晶体的线性弹性范围内，极化强度Pxx与应力sxx 成正比，即 压电效应 例１：有一个