科普苑脉冲电镀及脉冲电源的研究与分析.docVIP

科普苑：脉冲电镀及脉冲电源的探究与解析 1脉冲电镀 脉冲电镀是一项新的电镀技术。它的特点是由脉冲电流对电极过程动力学的特效影响所决定的，其中最主要的是对传质过程中的影响。在直流电镀时，镀液中被镀出的金属离子在阴极表面附近溶液中逐渐被消耗，造成了该处被镀金属离子与溶液中该离子的浓度出现差别。这种差别随着使用的电流密度增高而加大。当阴极附近液层中该离子的浓度降到0时，就达到了所谓的极限电流密度，传质过程完全受扩散控制。 在脉冲电镀时，由于有关断时间的存在，被消耗的金属离子利用这段时间扩散、补充到阴极附近，当下一个导通时间到来时，阴极附近的金属离子浓度得以恢复，故可以使用较高的电流密度。因此，脉冲电镀时的传质过程与直流电镀时的传质过程的差异，造成了峰值电流可以高于平均电流，促使晶种形成的速度远远高于晶体长大的速度，使镀层结晶细化，排列紧密。孔隙减小，电阻率低。 此外，直流电镀时的连续阴极极化电位下的各种物质，在阴极表面的吸脱附过程与脉冲条件下的间断高阴极极化电位下的吸脱附过程的机理有很大差异.造成了同样的溶液配方及添加剂在电源波形不同时.表现的作用差别也很大。 2脉冲电源 脉冲电源分为数字脉冲电源和模拟脉冲电源。所谓数字脉冲电源，是采用微处理器及数字电路对脉冲电源中的直流斩波进行控制，并实现数字显示与数字调节的电源。它是当今最为先进的电镀电源。由于与计算机技术相结合，使其控制更加方便和灵活，目前是电镀电源发展的方向。数字脉冲电源的原理示意图如下图所示。 与传统的模拟脉冲电源相比，数字脉冲电源具有如下优点： 2.1驱动波形规整，极大地改善了斩波后的输出波形，对提高电镀质量十分有利； 2.2采用数字调控，直观简单； 2.3波形调节范围宽，调节步进可以至0.1ms； 2.4温度漂移系数小，能长期稳定连续运行。 在目前的应用中，普遍采用大功率开关管IGBT对直流电源进行斩波，达到脉冲输出的目的。数字控制器发出的方波驱动信号控制IGBT的通断。改变数字控制器的信号，可以实现对输出脉宽及频率的可调。 数字脉冲电镀实质上是一种通、断直流电镀。所不同的是数字脉冲电镀有三个独立的参数（脉冲平均电流密度I、导通时间及关断时间BEDEquation.DSMT4 可调；而一般直流电镀只有一个参数 电流或电压 可调。因此，采用数字脉冲电镀就为槽外控制镀层提供了有力的手段。大量的实践证实，数字脉冲电镀是一项既能提高镀层质量，又能提高沉积速率的经济效益很高的电镀新技术。下图为数字脉冲电源的电流波形。 苏州新台兴智能电源有限公司 taision