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1. 价带 (4d,5s) 出现在 0 - 8 eV 。 2 4p 、 4s 能级出现在 54 、88 eV 。 3. 335 eV 的最强峰由 3d 能级引起。 4 3p 和3s 能级出现在 534/561 eV 和 673 eV 。 5. 其余峰非 XPS 峰， 而是Auger 电子峰。 例：试作出在Mg Ka ( hn = 1253.6 eV ) 作用下Na的XPS示意谱图， Na的能级分布如右图。 解：由KE = hv - BE , KE1s = ( 1253.6 - 1072 ) = 182 eV KE2s = ( 1253.6 - 64 ) = 1190 eV KE2p = ( 1253.6 - 31 ) = 1223 eV  4 俄歇电子能谱 AES(Auger electron Spectrocopy) 光子作用下：K层电离；L层补充跃迁；能量使另一层L电子激发成AuE。即双级电离过程：A*+=A 2++e-。 AES特点： 1 受价态影响； 2 受结合态影响； 3 受表面势垒影响。 与XPS相比， 优点如下： 1 可用电子激发， 并形成聚焦； 2可扫描得到AuE象， 直观反映表面； 3电子束流可调小， 使空间分辨率提高。 5 XPS（AES)的应用： 1元素定性 2 定量分析 3 元素价态、结合态的研究。 实例1： 木乃伊所用的颜料分析 150 145 140 135 130 Binding Energy (eV) PbO2 Pb3O4 500 400 300 200 100 0 Binding Energy (eV) O Pb Pb Pb N Ca C Na Cl XPS analysis showed that the pigment used on the mummy wrapping was Pb3O4 rather than Fe2O3 Egyptian Mummy 2nd Century AD World Heritage Museum University of Illinois 7 光电子能谱分析 1 概述 电子能谱是一种研究物质表面的性质和状态的物理方法。 表面的含义：指固体最外层的1～10个原子的表面层和吸附在它上面的原子、分子、离子或其它覆盖层。 表面由于各种原因，具有与基体不同的物理化学性质。 1.1 表面分析可以得到的信息 借助各种表面分析仪，对物体10nm以内的表面层进行分析，可得到的信息有： （1）物质表面层（包括吸附层）的化学成分，除氢元素以外的元素都可以从表面分析法获得定性和定量的结果。 （2）物质表面层元素所处的状态或与其它元素间的结合状态和结构，即元素所处的原子状态、价态、分子结构等信息。 （3）表面层物质的状态。 （4）物质表面层的物理性质。 由于表面分析法的分析范围有限（10个原子层的厚度以内，即10nm以内），一般物质的表面极易受到周围环境的污染。因此，在作表面分析工作时，不仅在制备样品时要求在高真空和超净条件下进行，而且在测试过程中也要注意仪器中的条件，以防止因污染而引起测试误差。（对真空度有要求） 1.2 表面分析法的特点 表面分析法主要指用一种粒子（电子、离子、中性粒子或光子）作辐射源轰击样品，使样品受激放出二次粒子，测量二次粒子的能量和性质。 二次粒子和辐射源既可是同种也可以是异种。 表面分析技术与普通光谱仪不同，它不是研究光与物质的相互作用后所产生的光的特性，而是研究光（或粒子）与物质相互作用后被激发出来的二次粒子（电子、离子）的能量，以达到所要获得的结果。 表面分析一般是测定物质表面的平均成分，不是体内、也不是微区成分，它测定的是物质受激发而发出的价电子或内层电子的能量；与红外光谱相比，红外光谱给出的是分析指纹，或是基团特征，而表面分析则可给出原子指纹，测定原子的价态（电子结构）、原子和电子所处的能级，从而可以定出分子结构。 常见的表面分析法的比较 俄歇电子能谱 AES: Auger Electron Spectroscopy 紫外电子能谱 UPS 光电子能谱 XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy 离子探针显微分析 表面分析法是一种无损分析，分析的是最表层的元素信息，分析的灵敏度极高。 1.3 各种表面分析仪及其研究目的 表面分析测定物质表面层厚度在10nm以内的各种信息，所以与粒子逸出的深度紧密相关。表面分析法所用的仪器主