CDA系统及管材介.pptVIP

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CDA系统及管材介

Hookup中CDA用不锈钢管材及管件介紹 目录 不锈钢简介及分类 管件与阀门 加工工具及工法 澄清及规范 注意事项及常见缺失 过滤器 CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿,再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及碳氢化合物以供给无尘室CDA。 CDA System:空气压缩机 缓衡储存槽 冷却干燥机 过滤器 CDA 大宗气体在半导体厂的用途 CDA: CDA主要供给FAB内气动设备动力气源及吹净(purge),Local Scrubber助燃。IA主要供给厂务系统气动设备动力气源及吹净。 N2: 主要供给部分气动设备气源或供给吹净、稀释、惰性气体环境及化学品输送压力来 O2: 供给ETCH制程氧化剂所需及CPCVD制程中供给氧化制程用,供给O3 Generator所需之氧气供应及其它制程所需。 Ar: 供给Sputter制程,离子溅镀热传导介质,Chamber稀释及惰性气体环境。 H2: 供给炉管设备燃烧造成湿氧环境,POLY制程中做H2 BAKE之用,W-PLUG制程中作为WF6之还原反应气体及其它制程所需。 He: 供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。 不锈钢管 钢管是一种中空的长条钢材,大量用作输送流体的管道,如石油、天燃气、水、煤气、蒸气等,另外,在抗弯、抗扭强度相同时,重量较轻,所以也广泛用于制造机械零件和工程结构。也常用作生产各种常规武器、枪管、炮弹等。 ? ? 钢管的分类 钢管分无缝钢管和焊接钢管(有缝管)两大类。按断面形状又可分为圆管和异形管,广泛应用的是圆形钢管,但也有一些方形、矩形、半圆形、六角形、等边三角形、八角形等异形钢管。 不锈钢管材分类 不锈钢管依管材等级区分可分为EP、BAAP,MP 管材等级: AP:酸洗管(Anneal treatment Passivation) MP: 機械研磨處理(Mechanical Polish) BA:光輝燒鈍處理(Bright Anneal treatment) EP:電解研磨處理(Electro Polish) 影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法,其价格之高低顺序EP>BA>MPAP BA MPEP EP 製程介紹 不銹鋼材中各主要元素之作用說明: 碳:在金屬中為硬化元素。 錳:能增加金屬硬化能及強度。 矽:在於改善鋼材的衝擊抵抗性及延展性,是金屬冶煉中的除氧劑。 磷與硫:金屬冶煉中是屬於不純物,如果含量多時會使鋼材延展性降低。 鉻:在合金鋼中形成安定、硬化,耐磨損之碳化物,鉻在高溫時亦很安定。 鎳:增強鋼材的低溫韌性及延展性,填加鎳元素亦可大大的改善腐蝕抵抗。 鉬:主要用途在於改善高溫時的抵抗強度及潛變抵抗和改善鋼材 的硬化能。 鋁:主要目的在於控制鋼材組織晶粒之大小。 氧、氫:燃燒與助然性氣體是金屬冶鍊中不可缺少之燃劑。 型号 301—延展性好,用于成型产品。也可通过机械加工使其迅速硬化。焊接性好。抗磨性和疲劳强度优于304不锈钢。 型号 302—耐腐蚀性同304,由于含碳相对要高因而强度更好。 型号 303—通过添加少量的硫、磷使其较304更易切削加工。 型号 304—通用型号;即18/8不锈钢。GB牌号为0Cr18Ni9。 SUS304L 型号 309—较之304有更好的耐温性。 型号 316—继304之后,第二个得到最广泛应用的钢种,主要用于食品工业和外科手术器材,添加钼元素使其获得一种抗腐蚀的特殊结构。由于较之304其具有更好的抗氯化物腐蚀能力因而也作“船用钢”来使用。SS316则通常用于核燃料回收装置。18/10级不锈钢通常也符合这个应用级别。 SUS316L 型号 321—除了因为添加了钛元素降低了材料焊缝锈蚀的风险之外其他性能类似304。 400 系列—铁素体和马氏体不锈钢 型号 408—耐热性好,弱抗腐蚀性,11%的Cr,8%的Ni。 型号 409—最廉价的型号(英美),通常用作汽车排气管,属铁素体不锈钢(铬钢)。 型号 410—马氏体(高强度铬钢),耐磨性好,抗腐蚀性较差。 型号 416—添加了硫改善了材料的加工性能。 型号 420—“刃具级”马氏体钢,类似布氏高铬钢这种最早的不锈钢。也用于外科手术刀具,可以做的非常光亮。 型号 430—铁素体不锈钢,装饰用,例如用于汽车饰品。良好的成型性,但耐温性和抗腐蚀性要差。 型号 440—高强度刃具钢,含碳稍高,经过适当的热处理后可以获得较高屈服强度,硬度可以达到58HRC,属于最硬的不锈钢之列。最常见的

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