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物理涂镀技术 本课程简介: 40学时（36学时讲课4学时实验） 专业限选课\考试课 牛玉超 办公电niuyuchao@sdjzu.edu.cn 第一章 物理气相沉积 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 （一）真空的定义、真空度的单位及区域划分 第一章 物理气相沉积 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 （一）真空的定义、真空镀的单位及区域划分 （二）气体分子运动论的基本公式 一、真空物理基础 （一）真空的定义、真空镀的单位及区域划分 （二）气体分子运动论的基本公式 1、平均自由程λ 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 二、真空的获得 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 二、真空的获得 1 、机械泵---- 其中机械旋片泵最常用 (1) 工作原理 (2) 技术参数 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 二、真空的获得 1 、机械旋片泵 2、油扩散泵 在1915年Gaede發明，促使真空技術進入了另一階段。在1936年科學家發明了一種自行分餾(Self-fractionating) 式扩散泵。 (1) 工作原理 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 二、真空的获得 1 、机械旋片泵 2、油扩散泵 (1) 工作原理 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 二、真空的获得 1 、机械旋片泵 2、油扩散泵 (1) 工作原理 (2) 技术参数 分子泵原理与结构 分子真空泵 1911 年由德国人盖德 (w · Gaede) 首先发明 罗茨泵 第一章 物理气相沉积 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 1、低于一个大气压的空间； 2、帕Pa，1atm=1.013*105 Pa； 3、低真空 105—102 中真空 102—10-1 高真空 10-1—10-5 超高真空 ＜10-5 记忆规律：52-1-5 4、λ=1/（21/2πnδ2） 讨论：真空度越大，气体密度越小，λ越大 第一章 物理气相沉积 第一节 真空技术基础 5、气流分类 λd---粘性流 λd---分子流 一、真空物理基础 二、真空的获得 (1) 工作原理 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 二、真空的获得 (1) 工作原理 (2) 技术参数 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 二、真空的获得 三、真空的测量 1、热电偶真空计（规） 2、热阴极电离真空计（规） 第一节 真空技术基础 一、真空物理基础 二、真空的获得 三、真空的测量 1、热电偶真空计（规） （1） 原理： Pt丝发热量一定-----其温度取决于空气密度（真空度）----真空度越高----散热越少---- Pt丝温度越高-----热电偶的热电势越大。 所以 mV-----P （2）测量范围：(100-10-1Pa) 第一节 真空技术基础 三、真空的测量 1、热电偶真空计（规） 2、热阴极电离真空计（规） （1）原理：F丝发出热电子一定—热电子振荡碰撞并电离空气分子--其碰撞电离数取决于空气密度（真空度）--真空度越高—电离量越少—收集极收到离子数越少 所以 I-离子流--P （2）测量范围：(10-1-10-5Pa) 小结：三、真空的测量 1、热电偶真空计（规） （1） 原理： Pt丝发热量一定-----其温度取决于空气密度（真空度）----真空度越高----散热越少---- Pt丝温度越高-----热电偶的热电势越大。 所以 mV---P （2）测量范围：(100-10-1Pa) 小结：三、真空的测量 1、热电偶真空计（规） 2、热阴极电离真空计（规） （1）原理：F丝发出热电子一定—热电子振荡碰撞并电离空气分子--其碰撞电离数取决于空气密度（真空度）--真空度越高—电离量越少—收集极收到离子数越少 所以 I-离子流--P （2）测量范围：(10-1-10-5Pa) 思考题 1、何谓真空、真空度、气体分子的平均自由程、粘性流、分子流、起始压强、极限压强、抽气速率（P1、P3、P4、P5、P6）？ 2、真