真空系统及有关术语.docVIP

真空系统及有关术语真空系统vacuum system由真空容器和产生真空、测量真空、控制真空等的组件组成。真空机组pump system由产生真空、测量真空和控制真空等的组件组成。有油真空机组pump system used oil用油作工作液或用有机材料密封的真空机组。无油真空机组oil free pump system不用油作工作液和不用有机材料密封的真空机组。连续处理真空设备continuous treatment vacuum plant能将处理研究的材料或工件连续地送入到真空容器中，并且又能从真空室输出而不必中断设备连续工序的一种真空设备。闸门式真空系统vacuum system with an air-lock在不破坏真空情况下，能将工件或材料通过一个或若干个真空闸室导入或导出的一种真空系统。压差真空系统differentially pumped vacuum system通过气体节流，使互相连接的各个室分别用单独真空泵抽气以达到维持压差（压降或压力梯段）目的的一种真空系统。进气系统gas admittance system在规定的和控制的条件下，能将气体或气体混合物放入到真空系统的一种装置。真空系统特性参量抽速volume flow rate of a pumping unit在抽气装置进气口测得的抽速。抽气量throughput of a pumping unit流经抽气装置进气口的气体流量。真空系统的放气速率degassing(outgassing) throughput of a vacuum system由真空系统所有表面解吸气体所产生的气体流量。注：在真空系统内部经常出现一种漏气假象。这种情况叫做“虚漏”。真空系统的漏气速率leak throughput of a vacuum system由于漏气渗入到真空系统中并影响真空容器中压力的气体流量。真空容器的升压速率rate of pressure rise of a vacuum chamber在温度保持不变时，抽气系统关闭后，在给定时间间隔内容器的压力升高量除以该时间隔之商。该商有可能不是恒定的。极限压力ultimate pressure 泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力。 残余压力residual pressure 经过一定时间的抽气之后或真空过程结束之后还存在于真空容器中的气体或气体混合物（残余气体）的全压。在某些情况下残余压力等于极限压力。注：在真空技术中，“气体”一词按广义的理解，即可适用于非冷凝性气体也可应用于蒸汽。 残余气体谱residual gas spectrum 真空容器中残余气体的质谱。 基础压力base pressure 在真空容器中可以开始实施工艺时的压力。注：在某些真空工艺中，例如表面的分析，基础压力也称作为“本底压力”。 工作压力working pressure 在真空容器中为实施工艺所必需的压力（可能还有压力范围）。 粗抽时间roughing time 前级真空泵或前级真空抽气装置从大气压抽至基础压力或抽至在较低压力下工作的真空泵的起动压力所需要的时间。 抽气时间pump-down time 将真空系统的压力从大气压降低到一定压力，例如降到基础压力所需要的时间。 真空系统时间常数time constant of a vacuum system 将真空容器中的压力降低到初始压力的1/e所需要的时间。在抽速恒定时，该时间常数为容器体积除以抽气系统的抽速得出之商。 真空系统进气时间venting time 经过规定的装置放入的空气使真空系统（或真空容器）内的压力由工作压力升高到较高的压力（一般到大气压）所需要的时间。如果放入的是空气，那么该时间称作为“通大气时间”。 真空容器真空室vacuum chamber 根据力学计算能允许容器的压力低于环境压力的真空密封容器。 封离真空装置sealed vacuum device 容器被抽空之后将其封离或者以别的方法用永久性的封接将其封离的一种真空容器。例如电子管，X-射线管。 真空钟罩vacuum bell jar借助于一个可拆卸的连接件，将其放置到另一个组件（一般说来是一块底板）上并同这个组件共同组成一个真空室的钟罩形组件。 真空容器底板vacuum base plate 真空容器底板通常位于真空设备抽气系统进气口上并包含有实施过程所必要的真空引入线。 真空岐管vacuum manifold 可以和两个或若干个真空容器相连可以同时进行抽气的一种真空密封分配件。 前级真空容器（贮气罐）backing reservoir 设置在前级真空泵和其前级真空阀之间的容器。在前级真空泵断开时，它用来容纳被抽气体和（或）平衡压力的变化。 真空保护层outer chamber 将一