Chapter 2 Vacuum.pptVIP

2、? 真空泵 真空泵浦為一有除去氣體機能的裝置。依其排除氣體的原理，可進一步區分為三大類： (i)氣體輸送係經由一階或多階的壓縮，例機械泵浦， (ii)氣體經由動量移轉而被侷限引導並輸送，例擴散泵浦，渦輪分子泵浦等及 (iii)氣體被束縛在大的低溫表面上，隨後並可經由加熱而釋出，例吸附泵浦等。 真空泵浦依其正常操作的壓力範圍又可區分為 (i)低真空泵浦(fore pumps，roughing pumps)，運作於黏滯流範圍。 (ii)高真空泵浦(high vaccum pumps)，運作於分子流範圍。 （1）气压范围 A. 粘性流动 气压10-4 Torr；平均自由程短；分子—分子碰撞较分子—壁碰撞的机会高，气体动量转移，净压力梯度；层状流动。 B、分子流动 气压10-4 Torr；平均自由程高；分子—壁碰撞机会较分子—分子碰撞机会多；没有气体的动量转移；几乎没有压力梯度； Kn=?/a Knudsen number ? ? = 平均自由程；a = 管子直径 Kn0.01粘性流动 0.01Kn1过渡流动(transitional flow) Kn1分子流动 肯德深數(Knudsens number) (2)??? 机械泵 1 atm - 10-3 Torr 费用