厚膜集成电路丝网印工艺技术1.docVIP

陕西国防工业职业技术学院 薄 厚 膜 电 路 工 艺 班 级 电子5071 姓 名 张盈 学 号 11 指 导老 师 张喜凤 厚膜集成电路丝网印刷工艺技术 张盈 （陕西省 西安市 户县 陕西国防工业职业技术学院） ???? 摘?? 要： 重点介绍了厚膜集成电路的丝网印刷工艺技术和影响印刷质量因素，并以厚膜电阻器为例，简述其制作工艺过程，以及丝网印刷缺陷对厚膜电路的影响。?? 关键词： 厚膜集成电路 ? 厚膜丝印 ? 厚膜电阻器 ? 丝印缺陷?? ?前言?? ????丝网印刷作为一种古老的印刷方法，在我国电子工业、陶瓷贴花工业、纺织印染行业得到广泛的应用。随着60年代电子时代的到来，丝网印刷被广泛地应用于印刷线路板、厚膜集成电路、太阳能电池、电阻、电容、压电元件、光敏元件、热敏元件、液晶显示元件等等的制造中，特别是进入80年代以来，各种新型材料和新技术的不断应用，与国外不断开展的技术交流，以及高精密自动化新设备的不断发展，大大提高了丝网印刷技术水平。下面仅介绍采用丝网印刷厚膜技术，制作厚膜集成电路的工艺技术。??集成电路大体上可分为两大类：