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赴浙大学习OSF检测技术的出差报告 报告人：高敏 一．待检的硅晶体编号 表1-1 P型 1. YA 2. YB 3. YA 4. YB 5. YA 6. YB N型 7. NA 8. NB 9. NA 10.NB 11.NA 12.NB 二．化学抛光法OSF检测流程 硅片标记并切割 图2-1 硅片的标记 用记号笔在硅片上如图2-1进行划线标记，宽度大约为2cm，四等分。并用金刚笔刻上记号，然后进行切割。如图2-2。进行试验的是5号和11号片子。并把切割好的硅片分为2组，X-1，X-2测原生OSF，X-3，X-4测氧化诱生OSF。并将二者进行对比。 图2-2 线切割 2．硅片的清洗 (1) 酒精浸泡：将同一组试验的片子放在同一个烧杯中，浸入无水乙醇中，用脱脂棉将硅片表面的记号笔擦拭干净。 (2) 超声清洗：无水乙醇+去离子水=1:1，超声2次，再用去离子水超声1次，每次5min。 图2-3 硅片的超声清