解放后.docVIP

太阳能光电工程学院 《材料加工设备概论》 课程设计报告书 题 目：太阳能电池刻蚀清洗设备应用研究 姓 名： 朱良辉 专 业： 太阳能光伏材料加工与应用技术 班 级： 助考（1）班 准考证号： 014409300634 设计成绩： 指导教师： 刘小梅 摘要：　Etch，它是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化（pattern）处理的一种主要工艺。所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。随着微制造工艺的发展；广义上来讲，刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法湿法刻蚀 4 1.2等向性蚀刻 4 1.3非等向性蚀刻 5 2.1干法刻蚀 5 2.1平行电极等离子刻蚀 5