对制备微型三坐标测量机的微小单片探测钨球的实验性研究.docxVIP

对制备微型三坐标测量机的微小单片探测钨球的实验性研究王智伟a，范光照a,b，李瑞军a和魏公aa仪器科学与光电工程学院，合肥工业大学，合肥，230009，中国；bDepartment of Mechanical Engineering, National Taiwan University, Taipei,b机械工程系，台湾大学，台北，中国摘要：微观结构的三维测量需要一个具有小型探测球三位探针和适当的纳米级精密定位系统。本文提出了一种电弧融化方法，这种方法可以在钨丝上制造单片微球面尖端。基于电极放电能量吸收原理和表面张力现象，微球在钨丝型尖端形成。在这种动态电弧释放模型的过程中，可以分析球体形成的过程。实验结果揭示：一个直径60um的球形尖端的圆度误差小于1um，这种球形尖端通过合适的过程参数的选择可以在直径为100um的钨丝上获得，比如释放电弧的电压、释放时间、释放间隙。探针的质量主要由电弧释放的状态决定，而此状态影响了凝固里和热量上升暖气流的产量，这种单片微型探针被应用在微坐标测量机里（Micro-CMM）,从而可以进行微槽的测量。关键字： 微型球尖端，整体钨探测，释放参数，微坐标测量机。 1.简介由于微电子、光学、精密工程企业的大范围出现，对于微纳米结构的测量和分析，我们需要更高的精确度和准确度。随着微型产品精度的提高，也需要高精度测量micro-3D测量方法。最可靠的方法来衡量的大小，形态，和三维部件的空间位置是由一个以球体结尾，接触式探针测量系统，如微/纳米三坐标测量机（CMM）。一个好的球头是一个接触探针构建的基本要素。接触式探头可以测量高纵横比的微孔，槽，用非接触式探针是很难测量侧边的。直径在120微米和300微米之间的、具有微型红宝石的探针是目前最先进的工艺了。传统的探针尖端通常是由螺丝或胶将球型红宝石球固定在金属杆上，制作如图1所示。直径的精度和球的球度、球的中心到杆中心的偏移都是很必要的，正如利用测头半径补偿对于确定接触测量点一样重要。当球越来越小，球度、球的偏心度难以通过胶合工艺进行比例缩小。单片探针的制造满足上述要求是必要的。 图1：传统探测器的原理图将茎端形成球形探针可以减少由传统的装配过程中引入的误差。Ji等人制作了一种基于电火花加工并融化形成所需物体的方法去制造光纤探针[ 2 ]。笔者的研究小组使用市售的光纤熔接机成功地制备微细球形光纤探针，其具有良好的几何质量[ 3，4 ]。然而，考虑到微球表面由于接触或扫描力[ 5 ]磨损，硬的材料的范围是必要的。Sheu运用WEDG技术，在钨丝杆上制造尖端球体，然而质量不能很好地控制[ 6，7 ]。在本文中，作者用一种新的电火花加工技术制备好的钨球。钨丝作为一个电极。通过适当控制工艺参数，包括放电电压、放电时间和放电间隙，我们便可以在一根直径为100um的钨线上制造一个直径60μM，具有小于1μm圆度误差的球型尖端。 2.实验2.1电极的放电原理放电电弧就是带电的气体的释放，从而产生等离子体，一般都来自于不导电的物质，如空气。放电电弧是一种涉及热、电、磁、流体还有其他领域的可控的流体。因此，流体动力学的理论可以用来分析的磁特性的电弧。According to the physical properties, the electric arc is divided into three parts (Figure 2): close to the cathode surface of the part is called the cathode area, close to the anode surface of the part called the anode, while the middle part is called the arc column. Some assumptions are to be made: (1) the arc is in the local thermal dynamic equilibrium (LTE) state;根据电弧的物理属性,分为三个部分(图2):近阴极表面的部分称为阴极区,靠近阳极的表面部分称为阳极,而中间部分称为弧柱。一些假设是:(1)电弧是在当地的热动态平衡(LTE);(2)弧是稳定的,持续的和对称的,和光学薄层流状态,和(3)热损失由于粘性的影响可以忽略不计。电弧行为模型是由以下方程： 图2:电弧放电模型的示意图（a）能量守恒方程 f是输入功率的辐射损失分担比率,h是总焓(停滞的焓唯一的气体),?h是焓形状因子,θb是加热面积。(b)连续性方程 M外部流马赫