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微弱信号检测 3 微弱信号 检测技术 * * 3.1 电容检测 3.1.1 电容检测基本方法 微系统输出电容一般只有几皮法，且随着器件 尺寸的减小而减小，因此电容检测十分重要，设计高灵敏度的检测电路检测小电容，对于提高传感器的性能至关重要。若灵敏度不高，小电容信号很可能被噪声淹没。 目前小电容的检测方式包括： (1)将电容信号转化成频率信号，即输出信号频率的变化反映测量电容的变化。电路中大多采用振荡器的形式，电路中其他电容、电阻的实际值与标称值误差很小，才能保证测量的准确性。 典型小电容测量如下图所示。 待测电容通过恒定电流充、放电，由模拟开关 控制，模拟开关的通断由输出方波控制。迟滞比 较器有两个阈值电压Vb+和Vc+，两个比较器的输出作为多路器输入，将电容两端的信号转化为方波信号，输出电压的频率与恒流源、比较器的上下阈值电压及未知电容的容量有关，为: ②采用开关电容电路，可以比较方便地将传感器 和测量电路进行集成。开关电容在小电容信号处 理方面有很大的优势。 利用开关电容电路，通过一定频率的时钟信号控制开关的通断，使电容在一定的时间内充、放电，将未知电容转化成电压信号、数字信号或频率信号。 下图分别转换为直流电压信号和数字信号。 ③采用相位测量法，以滤波器的基本原理作为测 量的基本依据。