扫描电子显微镜及电子探针.pptxVIP

纳米材料的形貌分析 背散射电子强度与组成样品的原子序数有关，得到原子序数的信息 分析释放的X射线，得到更多元素信息 2.3 扫描电镜形貌分析 SEM 一、扫描照片成像原理： 能量高度集中的电子扫描材料表面； 二次电子强度随着样品表面形貌的变化而不同； 测量扫描微区内二次电子的强度随不同位置的变化函数得到微观照片 扫描电镜形貌分析优点： 高的分辨率。~ 1 nm 有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调； 有很大的景深，视野大，成像富有立体感 试样制备简单。 配有X射线能谱仪装置，可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析。 二、扫描电镜的工作原理 “光栅扫描，逐点成像”。 成像原理： 利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号调制成像。类似电视摄影显像的方式。 SEM的样品室附近可以装入多个探测器，例如：SED、BED、GSED、EDS、WDS、EBSD等。 目前的扫描电子显微镜可以进行形貌、微区成分和晶体结构等多种微观组织结构信息的同位分析。 三、扫描电镜的构造 电子光学系统 信号收集及显示系统 真空系统和电源系统 （一）电子光学系统 由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。 其作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨