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ME587R微影技術概論 志聖工業 高啟清博士 Charles Kao, Ph.D Tel: 02-2601-0700 Mobile: 0939-268-725 cckao@.tw 高啟清 Charles Kao Ph.D 學歷： 2008 清華大學EMBA 1995 美國賓州州立大學機械系 博士碩士 1985 台灣大學機械系 學士 1981 師大附中 422班 現任： 志聖工業研發中心協理 台灣電路板協會技術發展委員會委員 專長： 影像移轉製程及曝光設備,電漿蝕刻設備 研發管理,行銷企劃 自動控制,影像處理,系統分析 課程目標 學習在PCB, LCD, IC 製程中微影技術(曝光, 影像轉移)的基本概念 研討微影(曝光)技術之相關材料,設備, 流程,控制方法及發展趨勢 準備更進階的學習 微影技術概論 – 課程進度 2007 Electronic industry development 2次 2/27, 3/6 Photolithography overview 2次 3/13, 3/20 Statistics for equipment development