毕业设计++红光LED表面粗化--142052921.docVIP

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2016-08-18 发布于贵州
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毕业设计++红光LED表面粗化--142052921.doc

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毕业设计红光LED表面粗化--142052921

北京工业大学毕业设计（论文） PAGE I 目录 TOC \o 1-3 \h \u HYPERLINK \l _Toc31196 摘要 PAGEREF _Toc31196 I HYPERLINK \l _Toc9362 ABSTRACT PAGEREF _Toc9362 II HYPERLINK \l _Toc29487 目录 PAGEREF _Toc29487 III HYPERLINK \l _Toc25613 第1章绪论 PAGEREF _Toc25613 1 HYPERLINK \l _Toc24700 1．1 LED的发展现状及应用 PAGEREF _Toc24700 1 HYPERLINK \l _Toc3715 1．2 AlGaInP材料的特性 PAGEREF _Toc3715 2 HYPERLINK \l _Toc10531 1．3 AlGaInP材料的生长制备 PAGEREF _Toc10531 2 HYPERLINK \l _Toc32535 1．4制作AlGaInP红光LED的基本工艺步骤 PAGEREF _Toc32535 4 HYPERLINK \l _Toc4082 1.4.1. 光刻 PAGEREF _Toc4082 4 HYPERLINK \l _Toc22702 1.4.2. 清洗 PAGEREF _Toc22702 6 HYPERLINK \l _Toc12865 1.4.3. ICP(inductively coupled plasma)刻蚀技术 PAGEREF _Toc12865 6 HYPERLINK \l _Toc22819 1.4.4. 溅射 PAGEREF _Toc22819 6 HYPERLINK \l _Toc7389 1.4.5. PECVD（等离子体增强化学气相沉积） PAGEREF _Toc7389 7 HYPERLINK \l _Toc28417 1.4.6. 装架和引线 PAGEREF _Toc28417 8 HYPERLINK \l _Toc3403 1.4.7. 封装 PAGEREF _Toc3403 8 HYPERLINK \l _Toc28219 1．5本论文研究的主要内容 PAGEREF _Toc28219 8 HYPERLINK \l _Toc27182 第2章AlGaInP高亮度发光二极管理论基础 PAGEREF _Toc27182 10 HYPERLINK \l _Toc25467 2.1发光二极管的工作原理 PAGEREF _Toc25467 10 HYPERLINK \l _Toc5077 2.2 AlGaInP红光LED的典型结构 PAGEREF _Toc5077 11 HYPERLINK \l _Toc17141 2.3 AIGaInP高亮度发光二极管特性分析 PAGEREF _Toc17141 13 HYPERLINK \l _Toc30266 2.3.1. 光谱特性 PAGEREF _Toc30266 13 HYPERLINK \l _Toc22254 2.3.2. 亮度表征 PAGEREF _Toc22254 13 HYPERLINK \l _Toc20474 2.3.3. 注入效率 PAGEREF _Toc20474 14 HYPERLINK \l _Toc13136 2.3.4. 量子效率 PAGEREF _Toc13136 15 HYPERLINK \l _Toc32270 2.3.4. 电学性能 PAGEREF _Toc32270 16 HYPERLINK \l _Toc24323 2.4提高AlGaInP红光LED外量子效率的手段 PAGEREF _Toc24323 17 HYPERLINK \l _Toc23117 2.4.1. 电流扩展层[26-28] PAGEREF _Toc23117 17 HYPERLINK \l _Toc10464 2.4.2. 电流阻挡层 PAGEREF _Toc10464 17 HYPERLINK \l _Toc27394 2.4.3. P型衬底技术 PAGEREF _Toc27394 18 HYPERLINK \l _Toc3454 2.4.4. 生长布拉格反射层 PAGEREF _Toc3454 18 HYPERLINK \l _Toc21522 2.4.5 键和透明衬底 PAGEREF _Toc21522 19 HYPERLINK \l _Toc31787 2.4.6. 改变管芯形状 PAGEREF _Toc31787 20 HYPERLINK \