第七章 中高频的梁式滤波器.doc

第七章 中高频的梁式滤波器 目前个人通信设备的信道频率是900MHz。虽然经过外差式结构的二次降频，但是仍然远远大于梳状微机械谐振器件的谐振频率。所以提高微谐振器的固有频率是一个主要的研究方向。基于微谐振器的研究目的，即实现单片系统，使得谐振器件能够和集成电路完全做在一块芯片上，本论文工作没有做利用磁场提高谐振频率的研究。这是因为虽然利用磁场，能量转换有很多优点，如线性度好【】，谐振频率可以做的很高【】，但其磁性材料做到芯片上的工艺复杂，和标准IC工艺不兼容【】。所以本论文提高微谐振器频率的工作主要集中于固支梁谐振器的研究。 固支梁式谐振器的结构一般是由一根单梁和两个电极构成，其中梁既担任质量块又担任挠曲弹性梁，减小了系统的等效动态质量，固有频率有了很大的提高。通常梁发生振动的方向平行于电场，所以振动方向有平行于衬底或垂至于衬底两种。对于振动方向垂至于衬底的结构，单梁下面有两个电极，一只作为驱动电极，一只作为感应电极。目前采用较多的是这种方法。振动方向平行于衬底的固支梁通常是在其两侧各设置一个电极，一端作为输入，一端作为输出。相较与梳状微谐振器而言，它的结构不复杂，版图制作简单，而且完全可以用与标准IC工艺实现。所以目前固支梁式的谐振器成为一个新的研究热点【】。 固支梁谐振器输入输出断口的能量转换 单梁谐振器结构最简单，也是利用电容静电能量转换形式最容易最方便的途径，所以微谐振器最初是以单悬臂梁谐振器的形式出现的，其形式如图7.1。它是第一个利用和当时标准IC电路兼容的方法制作的微机械谐振器，证明微机械谐振结构可以在芯片上形成批量生产的规模。但是悬臂梁谐振梁弹性系数不够大，其频率无法更大的得以提高。而且由于频率提高的同时，驱动电压也在下降，使得电极间的距离缩小，使得悬臂梁振动时容易发生粘结现象。另外由于残留应力会使悬臂梁发生变形，其效果完全可以对设计的初衷造成破坏。所以目前的梁式谐振器都是采用双端固支梁。双端固支梁式谐振器在一定程度上对上述悬臂梁所具有的缺点有所改善，尤其是在提高频率方面。无论是悬臂梁或者是双端固支梁都是由电容形式来完成能量转换的。但是与双谐振器相比较，谐振梁的电容的能量转换还是有所不同的，其主要原因在于电容对位移的偏微分后的值仍然和位置有关，不能完全消除位移的影响，这样就会使梁上不同位置的受力也有所不同，即位移越大，那一位置所受到的驱动力也就越大，于是在分析时就不能认为谐振梁是受均匀力作用发生变形的。如果是这样，振动时，梁的位移模式就相当复杂，对我们分析输出电流造成很大的困难。如何解决这个问题，以方便后续的工作继续展开非常重要。所以本节从谐振梁的电容分析入手，用另一个观点入手解决这个问题。 电容 梁式微谐振器的有点在于其谐振频率可以做的很高，直接原因是梁的几何尺寸可以做的很小，但相较与其动态等效质量，其弹性系数业已很大。而且梁式谐振器的驱动和感应是直接利用电容的静电感应所致。为了提高谐振频率，降低驱动电压，一方面要减小谐振器的尺寸，另一方面又要减小梁和固定电极之间的距离，这样电容的值就不能不考虑边缘效应。下式是本文对梁式谐振器和固定电极间所形成电容的描述方程： （7.1） 式中l0是谐振梁与固定电极相交叠的长度，hth是结构层的厚度，d是谐振梁和固定电极的距离，Pw是谐振梁在振动方向的宽度，是边缘效应因子，属经验函数，其和（Pth/d）的关系见图7.2。从第三章中可以可出，谐振器的驱动力和静电感应电流都是和电容对位移微分的函数。所以此结果对信号的线性传输分析很重要。梁的振动幅度和梁的振动时的模式都有必要作以研究。设谐振梁的振动方向是y，两场方向是x，则一段长度上的电容对位移的微分可以表示成： （7.2） （7.3） 式中d0是静态时梁与固定电极之间的距离，δ是振动位移，是谐振梁上相较支座位置和受力的函数，是将梁长微分后的一个单位的长度，是这个单位长度上的电容。为了分析的方便，一般都将上式展开成泰勒级数形式： （7.4） 为了保证信号传输的线性度，通常振幅都小于极板间距的十分之一，所以上式可以忽略三次以上的高次项，又考虑到，得到表达式： （7.5） 至此，我们已经知道了电容对位移进行偏微分后，起主要作用的因素与其的关系。为了简化表达的形式，我们令： （7.6） 于是(7.5)式可以写成： （7.7） 驱动力 从第三章公式(3.10)知道电容静电力的关系式，在这里我们将其重新写出： (3.10)‘ 对于谐振梁，在振动时，因为是受静电力的作用，所以从支座到梁的中点所受并不是均匀力，因此梁上各点的振幅也不尽相同。下面的论述中我们仍以y方向作为其振动方向。将上式做和电容推导相同的假设后，把(7.7)式代入上式，我们可以得到： （7.8） 将代入上式，因为单梁谐振器只是利用其基频振动模式，所以本文消去没