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扫描探针显微镜概述 定义 扫描探针显微镜 利用微小探针在样品表面扫描，通过检测和控制探针与样品间相互作用的物理量(隧道电流、原子间力、摩擦力、磁力等)，来对样品微小区域表面进行形貌检测及物性分析等的仪器的总称。 发展历史 发明 1982年，在瑞士苏黎世的IBM实验室，宾尼格(Binning), 罗赫尔(Rohrer)等发明了扫描隧道显微镜（STM）。 发展 1986年，IBM和Stanford University合作由Binning, Quate, and Gerber发明了原子力显微镜（Atomic Force Microscope, AFM)。 第一台STM和AFM SPM概述－各类显微镜的比较 SPM概述－独特优点 可在真空、大气、常温、溶液等不同环境下工作，不需要特别的制样技术，并且探测过程对样品无损伤。 设备相对简单、体积小、价格便宜、制样容易、检测快捷、操作简便等特点。 得到的是样品表面的三维立体图像。 兼具“眼睛”和“手”的功能。 SPM概述－几种表面分析仪器的比较 SPM概述－Scanning Probe Microscopy Family Scanning probe microscopy (SPM) is a relatively new family of microscope that can measure surface morphology down to atomic resolution. 侧向摩擦力显微镜（Lateral Force Microscope , LFM） 摩擦力显微镜（Friction Force Microscope , FFM） 磁力显微镜(Magnetic Force Microscope , MFM) 静电力显微镜(Electric Force Microscopy , EFM) 扫描近场光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscopy , SNOM) 扫描电化学显微镜(Scanning Electrochemical Microscopy , SECM) 通常人们用AFM扫描样品表面时尽可能对样品加很小的力，这样可以避免对样品表面的损害.然而，另一极端想法是给样品加足够大的力，从而达到对样品微观表面进行修饰的目的．这种想法使得纳米加工技术成为可能．现在人们用AFM刻出各种纳米字(图3.9)．并用STM对原子进行搬运．这种技术大大开拓了人们的机械操纵视野，它对纳米科学有巨大的潜在作用． 六、 AFM假象 在所有显微学技术中，AFM图像的解释相对来说是容易的。光学显微镜和电子显微镜成像都受电磁衍射的影响，这给它们辨别三维结构带来困难．AFM可以弥补这些不足，在AFM图像中峰和谷明晰可见．AFM的另一优点是光或电对它成像基本没有影响，AFM能测得表面的真实形貌．尽管AFM成像简单，AFM本身也有假象存在．相对来说，AFM的假象比较容易验证．下面介绍一些假象情况： (1)针尖成像：AFM中大多数假象源于针尖成像．如图3.10所示，针尖比样品特征尖锐时，样品特征就能很好地显现出来。相反，当样品比针尖更尖时，假象就会出现，这时成像主要为针尖特征．高表面率的针尖可以减少这种假象发生． (2)钝的或污染的针尖产生假象：当针尖污染或有磨损时，所获图像有时是针尖的磨损形状或污染物的形状．这种假象的特征是整幅图像都有同样的特征(图11)。 图11 钝的或污染的针尖产生假象 (3)双针尖或多针尖假象：这种假象是由于一个探针末端带有两个或多个尖点所致．当扫描样品时，多个针尖依次扫描样品而得到重复图像(图12)． 图12 双针尖或多针尖假象 (4)样品上污物引起的假象：当样品上的污物与基底吸附不牢时，污物可能校正在扫描的针尖带走．并随针尖运动，致使大面积图像模糊不清(图3.13)． 图3.13 样品上污物引起的假象 七、 AFM的应用 1. 形貌观察 AFM可以对样品表面形态、纳米结构、链构象等方面进行研究。 AFM image of porous Al2O3 template SEM image of porous Al2O3 template 2 . AFM在高分子科学方面的应用 AFM在高分子方面的应用起源于1988年，如今，AFM已经成为高分子科学的一个重要研究手段。AFM对高分子的研究发展十分迅速、 (1) 高分子表面形貌和纳米结构的研究 图3.11所示为常规的AFM在高分子方面的应用．高分子的形貌可以通过接触式AFM、敲击式AFM来研究。接触式AFM研究形貌的分辨率与针尖和样品接触面积有关。一般来说，针尖与样品的接触尺寸为