SEM扫描电子显微镜与电子探针.pptVIP

* 一、简介 二、基本物理概念 三、主要参数 四、工作模式与衬度原理 五、主要部件 六、应用举例 七、电子探针 扫描电子显微镜与电子探针 (Scanning Electron Microscope 简称SEM and Electron Probe Micro-analysis 简称EPMA ) 一、简介 SEM是利用聚焦电子束在样品上扫描时激发的某种物理信号来调制一个同步扫描的显象管在相应位置的亮度而成象的显微镜。 与普通显微镜的差别： 电子波长 E为电子能量，单位 eV 当 E = 30KeV 时, λ≈ 0.007nm 普通显微镜 SEM 基本原理 光折射成象 同步扫描 入射束波长 400 - 700 nm 能量为E的电子 放大倍数 ～1600 几十万 分辨率 200 nm 1.5 nm 景深 是普通显微镜的300倍 学习的重要性： ▲ 是形貌分析的重要手段 ▲ 二次电子象在其它分析仪器中的应用 ▲ 基本物理概念、仪器参数及基本单元的通用性 二、基本物理概念 (一) 电子与表面相互作用及与之相关的分析技术 (二) 信息深度