微加速度开关功能结构.docVIP

双稳态微加速度开关结构及原理 双稳态微加速度开关的结构以及工作状态示意图 图1 1:顶盖2:侧架3:底盖4:质量块5:支撑梁6:动极板7:触点8:定极板 图1为双稳态微加速度开关结构模型 如图1所示，在无外界冲击力干扰的情况下，微开关内部质量块在感应方向受到卡西米尔力、范德瓦尔斯力、弹性力和静电力的共同作用。 二、质量块受力分析 如图2所示，质量块受到弹性力Fk、范德瓦尔斯力Ff、卡西米尔力Fc和电场力Fe的作用。 图2 运用的微电子与机械的相关技术 1）静电力驱动特性—吸合效应 静电驱动微结构的吸合效应来源于静电力的非线性，由库仑定律可以知道，电荷之间的静电力与电荷之间的距离成反比关系，而结构的刚度一般为线性，也就是说弹性力线性增加的同时，静电力是非线性增加的。而结构间隙达到某一特定值时，弹性力与静电力平衡，之后静电力增加的速度大于弹性力增加的速度，使得弹性力无法与静电力平衡，电极之间就会因此而吸合到一起，也就是所谓的吸合效应。 2）卡西米尔力分析 卡西米尔力由卡西米尔效应产生，卡西米尔效应就是真空中两片平行的平坦金属板之间的吸引压力。这种压力是由平板之间空间中的虚粒子的数目比正常数目减小造成的。在正常情况下，真空中充满着几乎各种波长的粒子，卡西米尔认为，如果使两个不带电的金属薄盘紧紧靠在一起，较长的波长就会被排除。接着，金属盘外的其他波就会产生一种往往使它们相互聚拢的力，金属盘越靠近，两者之间的吸引力就越强。这种平坦金属板之间的由于虚粒子数目和波长引起的压力被称为卡西米尔力。 3）范德瓦尔斯力分析 随着MEMS特征尺寸减小，物体离散性表现的越来越明显，用传统的连续方法研究离散微观物体间的相互作用已不符合微观世界的规律了。但是，对于工程实际中微观物体间力学问题的研究，国际上主要采用Hamaker微观连续介质理论。 四、参考文献 【1】王林滨 基于双稳态的MEMS微开关设计.西安电子科技大学，2010 【2】郝亚锋 基于MEMS的静电控制加速度微开关分析及测试，2011