基于闭合磁路的框式薄膜电感的研究-2500字符.docxVIP

基于闭合磁路的框式薄膜电感的研究摘要：使用磁控溅射工艺制造三种框式薄膜电感，其中全磁膜电感、特殊磁芯电感作为设计制作的具有闭合性的特殊薄膜电感，而目前主流的薄膜电感就是三文治结构电感，这些电感均由上层磁芯层、上层绝缘层、线圈中心的磁膜和线圈、下层绝缘层和下层磁芯层组成，其主要的不同之处就是磁性机构。关键词：薄膜电感；闭合磁路；电感量引言 薄膜电感作为当今磁性器件领域的研究热点。现在，研究工作大部分是在螺旋型和平面螺旋型薄膜电感的基础上，通过提升磁芯薄膜的性能或者优化结构来达到提高电感量的目的。1试验方法 图1是电感线圈的结构，选择线圈为0.17cm*0.28cm，线圈的厚度约为1μm，宽是1mm，线圈中的方形区域长短为8mm*7mm，方形之间的距离为2mm，两个引脚的大小为3mm*4mm。 图2是总体结构磁膜厚度都为1μm，由上往下的结构分为：上层磁芯层-绝缘层-线圈中心的磁膜-线圈-绝缘层-下层芯片层。本文使用的是三种不同磁芯结构的电感：一种是本文专门使用得，带有特定形状磁芯电感，在线圈中间设置了磁芯，大小为5mm*6mm，上层和下层薄膜磁芯仅覆盖在相邻连接线圈框的磁芯和中间磁芯，覆盖范围并不大，中间磁芯使上层和下层磁芯相连，这样并可以组成闭合磁路来减少漏磁，如图2a，下面称为特殊磁芯电感。 另一种电感的线圈中间同样设置了磁芯，大小为5mm*6mm，在上层和下层表面分别镀上磁芯