透射电子显微的分析.ppt

透射电子显微分析 参考书： 《金属X射线衍射与电子显微分析技术》（李树棠） 《透射电子显微学》（黄孝瑛） 《材料分析测试技术——材料X射线衍射与电子显微分析》（周玉、武高辉） 透射电子显微镜（TEM， Transmission Electron Microscopy） 采用高速运动的电子束作为照明光源，具有极高的空间分辨本领，甚至可以达到亚埃级。 结合其他附件和电镜技术，可以同时获得材料的微区形貌、成分和晶体结构等多种相关信息。 已成为材料科学研究中不可或缺的重要分析手段之一。 3.1 TEM构造及工作原理 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。 3.1.1 成像原理 透射电子显微镜电子光学系统的工作原理可以用普通光学中的阿贝成像原理进行描述： 平行光照射到一个光栅或周期物样上时，将产生各级衍射，在透镜的后焦面上产生各级衍射分布，得到与光栅或周期物样结构密切相关的衍射谱；这些衍射又作为次级波源产生次级波在高斯像面上发生干涉叠加，得到光栅或周期物样倒立的实像。 3.1.3 透射电镜电子光学系统 照明系统 照明系统由电子枪、加速管、聚光镜以及相应的平移、倾转和对中等调节装置组成，其作用是提供一束亮度高、照明孔径半角小、平行度好、束流稳定的照明源。 为了满足明场和暗场成像的需要，照