特种陶瓷 七 功能陶瓷1 2015.ppt

第七章 功能陶瓷 一、电子陶瓷与磁性陶瓷 3 压电陶瓷的生产工艺（以PZT陶瓷为例） 典型压电陶瓷：钛酸钡、钛锆酸铅、钛酸铅 下面以PZT(PbZrO3-PbTiO3)陶瓷为例介绍压电陶瓷的必要工序及制作方法。 压电陶瓷生产的主要工艺流程： 配料→球磨→过滤、干燥→预烧→二次球磨→过滤、干燥→过筛→成型→排塑→烧结→精修→上电极→烧银→极化→测试。 （1） 原料处理 原料的纯度是制备优良压电陶瓷的首要条件。通常来说， 希望原料的纯度要高一些，特别是用量比较大的原料，如 Pb3O4（或PbO）、ZrO2和TiO2等， 若纯度低，引入杂质总量就很大，所以纯度要高些。小剂量的原料则纯度要求相对低些。 以上原料经水洗去除一些水溶杂质后烘干，然后进行煅烧粉碎，通常希望颗粒度在2um以下。 （2）预烧 经过煅烧粉碎的原料混合配料后要进行预烧，其目的是为了使化学反应充分进行。 实验表明，如果预烧温度恰当，烧结温度可以在很宽的范围内波动，对致密度无显著影响，预烧温度如果偏低，烧成温度无论如何提高（或延长保温时间），也不能得到很高的致密度。此外，预烧温度和保温时间比较起来，预烧温度所起作用更为重要。 预烧过程一般需经过四个阶段：线性膨胀（室温~400℃ ）、固相反应（400~750℃ ）、收缩（750~850℃ ）和晶粒生长（800~900℃ 以上）。 （3）成型和排塑 简单形状的制品通过模压法成型，不均匀截面的条形制品可以通过挤压法成型，薄板用流延法和轧膜法成型，大的圆环和更复杂的形状用注浆法成型。 成型之前需加入粘合剂（常用的粘合剂的配制质量比为：聚乙烯醇15%，甘油7%，酒精3%，蒸馏水75%；在90℃下搅拌溶化）。 成型后生坯中的粘合剂、水分等加温排去，称为排塑或排胶。通常排塑温度800~850℃，保温时间1小时左右。 （4）烧结 烧结温度范围主要是由化学组成决定的。低于烧结范围，制品的气孔率高、致密度低，压电性能也就差。如果超过烧结范围的上限，则由于出现过多液相，会发生粘连，或严重失铅，也会导致性能下降。此外，烧结温度过高会使晶粒过大，机械强度变差。 烧结过程中PbO的挥发对产品质量影响很大。由于PbO挥发，破坏了配方的化学组成，工艺上为了防止PbO挥发，通常采用密封法、埋入法、加气氛片法等措施加以解决。 （5）上电极 烧成的陶瓷经精修、清洁后，就可以被覆上电极。一般来说是将含银涂料（银浆）涂于制品表面，并在600~800℃下烧结，使银浆中的氧化银还原为银，并烧渗到陶瓷表面，形成牢固结合层。对于薄片，可以通过溅射或蒸发镀上一层镍铬或金作为电极。被上电极的产品便可进行人工极化处理。 （6）极化 压电陶瓷烧结后还需极化处理。这是因为刚烧结好的压电陶瓷电畴无规则取向，故整体不呈压电性，只有通过极化处理使电畴沿一特定方向极化后才显出压电性。 提高极化电场，极化温度以及延长极化时间有利于极化的充分进行。 4 压电陶瓷的应用 压电陶瓷的压电性是居里兄弟于1880年在单晶体上发现的。 1940年以前，只有单晶体压电材料，由于存在多种缺点（如易溶于水），未能得到广泛应用。 第一批商业性压电陶瓷器件是美国人在1947年用陶瓷制造的BaTiO3留声机拾音器，但BaTiO3存在压电性弱和压电性随温度变化大的缺点。 1954年美国B.贾菲等人发现了PbZrO3-PbTiO3 （PZT）固溶体系统，它使在BaTiO3时代不能制作的器件成为可能。 70年代，人们又研制出PLZT透明压电陶瓷，使压电陶瓷的应用扩展到光学领域。 目前，压电陶瓷的应用已日益广泛，大致可分为压电振子和压电换能器两个方面。前者主要是利用振子本身的谐振特性，要求压电、介电、弹性等性能稳定，机械品质因数高。后者主要是将一种能量形式转成另一种能量形式，要求机电耦合系数和品质因数高。 压电陶瓷的应用领域 压电陶瓷应用（一） 压电陶瓷应用（二） 5 压电超声换能器的应用与发展 5.1 引言 超声换能器是实现声能与电能相互转换的部件。 最早的超声换能器是P.郎之万(P. Langevin)在1917年为水下探测设计的夹心式换能器。这个换能器是以石英晶体为压电材料，用两块钢板在两侧夹紧而成的。 1933年以后出现的叠片型磁致伸缩换能器，强度高、稳定性好、功率容量大，迅速取代了当时的郎之万换能器。 到了50年代，由于电致伸缩材料、钛酸钡铁电陶瓷、锆钛酸铅压电陶瓷的研制成功，使郎之万型超声换能器再度兴起。 目前压电超声的应用范围很广，且对超声测量精度、测量范围、超声功率以及器件的微小化程度的要求越来越高。超声换能器历来是各种超声应用的关键部件，国内外均大力研究，近年来取得了很多成就。 本节将介绍压电超声换能器的种类、应用和发展。 5.2 压电超声换能