注入原理简介1.pptVIP

2003/12/09 內 容 注入原理 製程介紹 製程重點參數設定 注 入 原 理 注入? 利用毛細管現象及LCD面板內外之壓力差使液晶注入空面板中 圖示： 製 程 介 紹 - 1 流程圖 製 程 介 紹 - 2 注入機台ANELVA/ULVAC 3種Chamber ?排氣室/脫泡室/注入室 Cassette/Batch式注入 一切都可以再補救，只除了最危險的Dip時間 製程重點 注入製程重點 排氣速度 真空度 液晶脫泡時間 Dip時間 注入室Leak速度/Slow Vent 速率 總注入時間分配/Just Time注入 注入參數設定 Q A 2003/12/09 * 2003/12/09 * 1. 講義路徑： G:\ project \ 訓練教材專區 \ TFT2 \ 專業課程 \ CELL課程 \注入原理 2. 心得報告請於一週內繳交IE結案， 未繳交者視同不合格。 3. 問卷調查表請於下課後收回。 注 意 事 項 注入原理簡介 T2 CELL廠CELL工程二部 加熱一室3~5pa 注入室1~3pa 高真空室2.9x10-3pa 加熱二室3~5pa 注入室1~3pa 大氣 ATM Vaccum 粗引1，2室排氣 vs.時間曲線 1 2 3 4 5 1 ：Slow rough 時間 2 ：真空度達到時間