第1章真空知识.pptVIP

* ★ ★ ★ 说明：由于不同的泵种的工作压力范围不同，实际运用中为达到一定的真空度，将两种或以上真空泵组合起来形成真空泵机组。 * 1.4 真空的测量 真空计 绝对真空计：通过测定物理参数直接获得气体压强的真空计 U型压力计、压缩式真空计 测量的物理参数与气体成分无关，测量比较准确 相对真空计：通过测量与压强有关的物理量，并与绝对真空计比较后得到压强值的真空计 放电真空计、热传导真空计、电离真空计 测量的准确度略差，而且与气体的种类有关 真空气压计是测量真空度或气压的仪器简称真空计（Vacuum gauges）又称真空规。是依据各种物理原理來量测压力或分子数目的多少。在科研和工业生产中广泛使用。 * 由仪器测出的真空度与真空室的实际真空度 之间可能会由于温度不同而存在误差。 在分子流状态，而且真空室与测量点之间存 在较细的管道连接时，测量压力pm和实际压力 pc之间的关系将可由分子净通量为零的条件得 出： Tc、Tm — 真空室和测量点处气体温度 * 1.4 真空的测量 * 1.4 真空的测量 1、 电阻真空计（皮拉尼真空规） 真空室的压强和灯丝电阻之间的存在的关系为：P↓→R↑ 测量真空的范围是105～10-2Pa 低压下，气体的热传导与压强有关 Q1辐射热量、Q2气体分子碰撞灯丝带走的热量 热传导真空计的一种，测定热丝电阻值随温度变化 类型：定温度型，定电流型 和定电压型。 * 直接用热电偶测量热丝温度 1.4 真空的测量 2、 热偶真空计 Q1辐射热量、Q2灯丝与热偶丝的传导热量、Q3气体分子碰撞灯丝带走的热量 气体压强和热电偶的电动势之间的存在的关系为：P↓→ε↑ 测量真空的范围是102～10-1Pa * 热偶真空规不能用于较低或较高真空度的测量。在气体压力高于100Pa的情况下，气体的热导率将不再随气体压力而显著变化。这时，用热丝温度测量气体压力方法的灵敏程度将迅速下降。而当气体压力低于0.1Pa以后，由气体分子传导走的热量在总加热功率中的比例过小，测量的灵敏度也将呈下降趋势。 缺点：在测量区间内指示值呈非线性，测量结果与气体种类有关，零点漂移严重等。 优点：仪器的结构简单，使用方便。 热电势随气体压力的变化曲线 * 热偶真空规和皮拉尼真空规 共同点：热偶真空规和皮拉尼规都是以气体的热导率随气体压力的变化为基础而设计的，它们是低真空时最常用的测量手段。 热偶真空规和皮拉尼真空规区别： 热偶真空规：通过测量热丝温度实现 皮拉尼真空规：通过测量热丝的电阻随温度的变化实现 * 1.4 真空的测量 3、 电离真空计－测量高真空 利用气体分子电离原理进行真空测量的 工作原理：它由阴极，阳极和离子收集极组成，热阴极发射电子飞向阳极过程中，使气体分子电离，并被收集电极收集形成电流，根据离子电流强度测出气体压强。 特点与使用：属高真空和超高真空测量，通常与热偶规同时使用。 阴极发射的电子电流强度Ie、气体分子的碰撞截面、气体分子的密度 * 电子加速后，与气体分子碰撞产生电离，产生的正离子数正比于压强P，则有 L为电子从阴极飞到加速极的总路程长度，Ie为阴极灯丝发射电流，W为电离效率 测量范围1～10-7Pa 1.4 真空的测量 K为常数，成为电离真空计的灵敏度 ? 电离真空计－测量高真空 * 1.4 真空的测量 为了消除电离真空规本身放气现象对于高真空度测量值的影响，在使用电离真空规之前需要将其加热至稍高的温度进行预先烘烤，以减少测量时放气现象的影响。 由于不同气体分子的碰撞电离截面不同，因而电离真空规的测量值也与所测的气体种类有关。 电离真空规可检测的压力下限受阴极发射的高能光子在离子收集极上产生的光电效应所限制。这种效应产生的光电流相当于10-7Pa的真空度下的离子电流。电离真空规可测量的压力上限为1Pa右有。这时，电子的自由程太短，已不能使气体分子产生有效的电离。 离子电流与气体压力之间的关系 * 1.4 真空的测量 4、 薄膜真空规 薄膜式真空规是一种依靠金属薄膜在气体压力差作用下产生机械位移，从而可用于气体绝对压力测量，测量结果与气体种类无关的真空规。 薄膜真空规有两个被隔开的真空腔，当一个真空腔内的压力为已知，另一个真空腔内的压力为未知的情况下，薄膜的位移量将与两个腔内的压力差成正比。为提高测量的准确度，薄膜位移是靠测量薄膜与另一金属电极间的电容Cl的变化来实现的。 * 工作原理：薄膜在气体压力差下产生机械位移。 测量范围 下限：10-3Pa 上限：取决于薄膜材料本身抗破坏的强度或薄膜的位移极限。 优点：绝对测量，测量结果与气体种类无关，线性度很好。