陶瓷微注射分析.doc

微机电系统MEMS 微型元器件 粉末微注射u PIM 一.微注射优势 1.传统的微细加工工艺 难以满足微米级构件的制造 光刻和离子蚀刻可以制造微米级构件，但零件的形状和材料受到限制； LIGA 技术和特种微型机械加工技术在零部件形状和尺寸上虽有突破，但工艺复杂，周期长，制作成本过高。 粉末微注射成型( Micro Power Injection Molding， μPIM) 表面效应和尺度效应 易实现低成本大规模生产具有复杂微细结构的零件； 质量在毫克级， 外形尺寸或局部结构尺寸为微米级； 近净成形、高精度、组织均匀、成本低（同传统注射）； 更好的热稳定性、化学稳定性以及特殊的力学性能（与聚合物和金属材料相比）故 μPIM成为陶瓷微器件最具潜力的大规模生产技术 μPIM步骤 喂料的制备 陶瓷粉末与粘结剂按合适的比例由混炼设备初步混制，所得的混合物经制粒装置制成大小合适的粒状喂料 1.1粉末超细化 （1）粉末：常规粒径10um，引入超细粉末粒径1um以下——微元件尺寸更小(10倍粒径） （2）原料:陶瓷粉末 原因： a.较金属粉末更易获得小的粒径，可控性更好，这是因为在纳米尺寸范围内后者易发生自燃； 注：金属粉末颗粒尺寸小、比表面积大、表面能高、表面原子所占比例大等超微颗粒的表面具有很高的活性,在空气中会迅速氧化而燃烧 b.陶瓷具有良好的热稳定性、化学稳定性、抗腐蚀性和耐磨性。 作用：小的粉末粒径能够实现更小的结构细节，提供更均匀的各向同性行为，还可以得到更好的表面质量。 挑战： a.粉末的制造难度增加； b.喂料的粘度随之增大，使注射成型变得困难； c.团聚现象更加严重，降低了粉末的装载量； d.颗粒间的毛细管道变窄，延长了脱脂时间。 示例： a. Yu 等将 50 nm 直径的Y-TZP (氧化钇稳定的四方氧化锆多晶陶瓷材料)粉末预加热到 150 ℃ ，有效地消除了团聚，最终获得 3 mm 直径大小的微型齿轮制品； b. 罗威等通过对 ZrO2 粉末原料进行 1250 ℃ 高温煅烧和 SA 球磨处理， 改善了粉末的流动性， 提高了喂料的注射性能 ； c. 奥地利 ARC Seibersdorf 研究公司［ 2］ 用平均粒径为 400 nm 的 Al2O3 粉末，制得了最小结构尺寸仅为 5 μm 的微型件。 1.2新粘结剂体系的开发 粘结剂影响：直接影响粉料流变性、 成型性，脱脂过程及产品尺寸精度 粘结剂组分： a.流动性好的低熔点成分 主要成分，决定粘结剂的主要脱脂方式，提高流动性和便于进行脱脂； b.起骨架支撑作用的高熔点主体聚合物 较少，决定了粘结剂的主要性能，使得喂料具有较高的强度、良好的保形性以及具备高粘度； c.少量可以改善粘结剂性能的助剂(如表面活性剂和增塑剂) 改变粘结剂组元和粉末与粘结剂之间的相互作用 粘结剂性能要求 μCIM 工艺所用粉末的表面 /体积之比增大， 粉末微注射成型技术所用粘结剂性能： 粘度较低； 足够强度以保证脱模、搬运及脱脂过程中微零件形状的完整性，以及烧结阶段的收缩均匀性 （4）示例 Rota开发出一种适于纳米陶瓷粉与超细金属粉微注射成型的新型低粘度粘结剂体系: 48% PW- 48% PE- 4% 表面活化剂，并以超细氧化锆粉作为填料，生产出收缩率为 15% ～ 22% ，尺寸公差仅为 5 μm 的微型件。 Supriadi 等［ 11］ 研究了适合于纳米颗粒的粉末微注射成型用粘结剂，认为石蜡基粘结剂较乙烯-醋酸乙烯共聚物基、聚丙烯基有更小的粘度、更小的热熔及良好的假塑性 注射成型 粒状喂料加入注射机，在压力和温度的作用下充填至模具中，形成所需形状的陶瓷微结构坯件，冷却后从模腔中取出 2.1微注射成型机 微型注射机是微注射成型的关键。与传统的注射成型技术相比， 微注射成型技术对生产设备有许多特殊要求， 主要表现在高注射速率、精密注射量计量及高精度温度压力控制系统 2.2微型模具加工 加工工艺的选择取决于微制件的几何特征，根据微元件的复杂与精细程度选用不同的工艺 a.一般的复杂结构件可以使用微铣削或者微细放电加工等3D加工方法，表面粗糙度可达 0．1 μm，尺寸精度为 ± 2 μm； b.微精密元件需要高精度的模具，则常使用 LIGA 或硅刻蚀方法，模具表面质量和尺寸精度可大大提高，结构高度公差为 ± 10 μm，平面度小于 40 μm，最小粗糙度在 0．03 μm 以下，可用于微注射 注：平面度，即基片具有的宏观凹凸高度