4-第三章特种纳米制造技术2学时-wdb.docVIP

第3章 特种纳米制造技术 3.1 特种纳米加工简介 3.1.1 常规尺度下的传统加工(切削加工)与特种加工 3.1.2 纳米尺度下的传统加工与特种加工 3.2 电子束加工技术 3.3 离子束加工技术 3.4 电化学加工技术 3.1.1 常规尺度下的传统加工(切削加工)与特种加工 在开始学习本次课程的内容之前，我们有必要了解一下传统加工与特种加工是如何界定的。而这种界定在对不同尺度的零件进行加工时是不同的。 加工常规尺度零件时，所谓的特种加工应该是除去传统的切削加工之外的加工手段。 我们首先来对比一下两种加工的本质特点： [PPT内容] 3.1.2 纳米尺度下的传统加工与特种加工 那么，纳米尺度下传统加工与特种加工是如何界定的呢？ [PPT内容] ……3.2 电子束加工技术 4.2.1 电子束加工的原理…… 下面开始介绍特种纳米制造中常用的三种技术：电子束加工、离子束加工、电化学加工。 首先来了解一下电子束加工技术。 3.2.1 电子束加工的原理 [PPT内容] 3.2.2 电子束加工的特点 [PPT内容] 3.2.3 电子束加工的应用——1. 电子束加工分类 电子束用在微细加工方面，可以分为两大类：…热加工、…化学加工， 前者电子束的能量密度较大，利用动能转化成热能所带来的热效应来实现材料的加工， 后者电子束的能量密度较小，利用电子束流与被加工材料的相互作用，电能转化为化学能，使材料改性而实现加工。 电子束热加工的具体应用有：[PPT内容] 电子束化学加工的具体应用有：[PPT内容] 3.2.3 电子束加工的应用——2. 电子束热微细加工 下面来介绍几种典型的电子束热微细加工，虽然这些加工方法不能够达到纳米尺度，但由于它们应用广泛，所以有必要介绍一下。 [PPT内容] [简单对弯孔和异形孔的用途进行展开介绍，一两句即可] 3.2.3 电子束加工的应用——3. 电子束化学微细加工(纳米尺度) [按PPT内容即可，基本不用展开] [下面是原文] 3.3.1 离子束加工的原理 [PPT内容] 3.3.2 离子束加工的特点 [PPT内容] 3.3.3 离子束加工的应用——1. 离子束加工分类及应用概述 [PPT内容] 3.3.3 离子束加工的应用——2. 离子束曝光 [PPT内容] 3.3.3 离子束加工的应用——3. 离子束刻蚀 [PPT内容] 3.3.3 离子束加工的应用——4. 离子溅射镀膜 [PPT内容] 3.3.3 离子束加工的应用——5. 离子镀 [PPT内容] 3.3.3 离子束加工的应用——6. 离子注入 [PPT内容] 3.4 电化学加工技术——3.4.1 电化学加工的原理及分类——1. 电化学加工的原理 [PPT内容]+[补充介绍] 阳极溶解：在电源产生的电场作用下，阳极的铜原子失去电子，变成阳离子进入到电解液中，这样，阳极材料就被选择性的溶解掉。 阴极沉积：溶液中的阳离子，可能是阳极溶解下来的，也可能是溶液中自有的，在阴极得到电子，成为原子，沉积到阴极上，形成一层薄膜。 3.4.1 电化学加工的原理及分类——2. 电化学加工的分类 [PPT内容] 3.4.2 阳极溶解加工——电解加工——1. 电解加工的过程 [PPT内容]+[补充介绍] 电解加工成形原理：由于电解液的导电性与距离成反比，两个电极之间距离较近的地方电流密度大，这样阳极的相应部分就会首先被溶解掉，渐渐的，阳极的形状就变成与阴极相反的形状，这就完成了加工。 3.4.2 阳极溶解加工——电解加工——2. 电解加工的特点 [PPT内容] 3.4.2 阳极溶解加工——电解加工——3. 电解加工的应用1 [PPT内容] 3.4.2 阳极溶解加工——电解加工——3. 电解加工的应用2 [PPT内容] 3.4.2 阳极溶解加工——电解加工——3. 电解加工的应用3 [PPT内容] 3.4.3 阴极沉积加工——1. 简介 [PPT内容] 3.4.3 阴极沉积加工——2. 电铸 [PPT内容] 34.3 阴极沉积加工——2. 电铸——应用 下面来看几个微细电铸的应用实例，电铸是微纳米的典型技术之一——LIGA的关键步骤的加工方法。 [看图中电铸部分即可，不用加工流程全部介绍][点击彩色框，可以闪动] 3.4.3 阴极沉积加工——3. 电镀 [PPT内容] 3.4.3 阴极沉积加工——4. 定域电化学沉积 [PPT内容] 小结 [PPT内容] Wdb0523更改内容（相对于0522） Wdb改0523