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微机械发展史 张德建 湖南工学院，湖南衡阳 421002 Micro mechanical development history ZHANG De-jian (Hunan Institute of Department of Mechanical Engineering, HengYang 421002, China) 摘要：当我们提及微机械时，大部分人都是一片茫然，不知何为微机械。微机械最早可追溯到19世纪，作为照相制版技术诞生了光制造技术。20世纪60年代，美国相继开发出了结晶异方向腐蚀、杂质浓度依存性腐蚀、阳极键合等基本微加工技术。进入70年代，美国学者提出了基于硅半导体材料的微机械的设想。70年代到80年代硅传感器随着半导体加工技术进步也有很大发展，利用微加工技术（micromachining）制造出多种微小尺寸的机械零部件。1988年，美国加州大学Berkeley分校Muller研究小组发表了转子直径为60～100?的硅静电马达，它的报道在当时引起了很大的轰动。自此，MEMS一词渐渐成为一个世界性的学术用语，MEMS技术的研究开发也日益成为国际上的一个热点。 关键词：微机械 MEMS技术发展历程 发展趋势 商业浪潮 Abstract:When we refer to a micromechanical, most of the people are in a daze,wonder what means Micro machinery can be traced back to nineteenth Century, as photographic plate-making technology was born in light manufacturing technology. Nineteen sixties, the United States have developed a crystal anisotropic corrosion, impurity concentration dependence of corrosion, anodic bonding and other basic micro processing technology. Enter 70 age American scholars proposed based on silicon semiconductor material micro machine vision. The 70s to 80s silicon sensor with semiconductor processing technical progress also has the very big development, utilization of micro processing technology (micromachining) to create a variety of small size mechanical parts. 1988, American California University at Berkeley Muller research group published a rotor diameter of 60~ 100silicon micro electrostatic motor, it caused a sensation at that time. Since then, the word MEMS has gradually become a worldwide academic terms, MEMS technology research and development has increasingly become a hot international. 前言 微电子机械系统 ( Micro Electro - Mecba6ical System, MEMS ) ，简称微机械，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。早在六十年代，随着微电子技术的产生和发展，一些富有创见的科学家便开始探索用硅微加工的方法制作传感器、执行器和控制器，并设想将它们集成在一个微小的几何空间内，从而形成高度自动化、智能化，可以大批生产，价格低廉的微电子机械系统。但在这个阶段，尚不具备成熟的用于制作微机械结构和器件的加工技术。微机械仅仅是一种概念或设计思想。八十年代，大规模集成电路技术己经成熟， 人们用I C工艺成功地制作出了微机械压力传感器以及微铰链、微连杆、微齿轮等等一系微机械零部件。微机械是在八十年代后期崛起的一门新兴的前沿学科。 国际上微机械的发展情况 早在1941年就出现了半导体传感器—光敏电阻但直