原创力文档- 1、本文档共65页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 8、纳米刻蚀及操纵 一般情况下，SPM在得到表面图像时不损伤表面 通过AFM施加“过度的力”或用STM施加“高电场”，可用于对 表面进行修饰 可以移动原子修饰表面等，在纳米科学以及纳米器件设计 与制作中，越来越被重视。 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. Si基底上的纳米刻蚀， 700nm 扫描 有机玻璃基底上的纳米刻蚀，1.6μm 扫描 混合分子晶体管， 1.5um 扫描 炭纳米管的推移（400x480nm）扫描 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. Cantilever Tips For Contact mode SiN For Dynamic mode Si Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. Petri dish type solution cell Sealed type solution cell Electrochemical solution cell Phase Imaging Viscoelasticity measurement MFM EFM Current Imaging Nano Indentation Force curve measurement Nano Lithograph Environment Controlled Chamber （WET-SPM series） AFM Contact mode Dynamic mode LFM STM head SPM Series Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 2、造成AFM悬臂偏转的力： （1）范德瓦尔斯力 非接触区，吸引力； 达到化学键长（小于 1nm）， 作用力为零； 间隙进一步变小，排斥力； 范德瓦尔斯力可以平衡掉任何 进一步的力作用，只能使悬臂 弯曲。 （2）毛细力 水膜的存在 毛细力恒定 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 3、两种类型的AFM： （1）接触式 恒高模式：扫描器高度恒定，悬臂偏转直接转化为形 貌数据。 恒力模式：悬臂偏转输入反馈电路，控制扫描器上下
文档评论（0）