自由曲面光学技术资料.ppt

* 自由光学曲面技术 光学工程 陈daye 666666 目录 简介 面型加工技术 发展历史 面型检测技术 简介 光学自由曲面没有严格确切的定义，通常指无法用球面或者非球面系数来表示的光学曲面，主要是指非旋转对称的曲面或者只能用参数向量来表示的曲面。 光学自由曲面已经渗透到我们生活中的各个角落，如能改善人类视觉质量的渐进多焦点眼镜，就是自由曲面技术在眼用光学镜片中的成功应用。 1 简介 精度 采用多轴超精密金刚石机床加工光学自由曲面 ,可达到亚微米级形状精度和纳米级表面粗糙的高精度水平。 优点 在成像系统中，该技术可以矫正像差、提高成像质量、减小系统单元数量及重量；在高性能照明系统设计中，该技术不仅可以有效提高光能利用率，更可消除系统对照明方向性的严格要求，并且提供了很大的设计自由度。 加工技术发展历史 80年代以来，出现了许多种新的非球面超精密加工技术，主要有：计算机数控单点金刚石车削技术、计算机数控磨削技术、计算机数控离子束成形技术、计算机数控超精密抛光技术和非球面复印技术等，这些加工方法，基本上解决了各种非球面镜加工中所存在的问题。前四种方法运用了数控技术，均具有加工精度较高，效率高等特点，适于批量生产。 2 发展历程 1638年 Kepler采用非球面透镜在近、远距离上获得了无像差球面,奠定了非球面光学基础 1972年 美国UnionCarbide公司研制成功了R―θ方式的非球面创成加工机床。这是一台具有位置反馈的双坐标数控车床，可实时改变刀座导轨的转角θ和半径R，实现非球面的镜面加工。加工直径达380mm，加工工件的形状精度为±O.63μm，表面粗糙度为0.025μm。 发展历程 1980年 摩尔公司首先开发出了用3个坐标控制的M―18AG非球面加工机床，这种机床可加工直径356mm的各种非球面的金属反射镜。 英国RankPneumo公司向市场推出了利用激光反馈控制的两轴联动加工机床，该机床可加工直径为350mm的非球面金属反射镜，加工工件形状精度达0.25-0.5μm，表面粗糙度Ra在0.01-O.025μm之间。随后又推出了ASG2500、ASG2500T、Nanoform300等机床 1984年 代表当今员高水平的超精密金刚石车床是美国劳伦斯.利弗莫尔(LLNL)实验室研制成功的LODTM，它可加工直径达2100mm，重达4500kg的工件其加工精度可达0.25μm，表面粗糙度RaO.0076μm，该机床可加工平面、球面及非球面，主要用于加工激光核聚变工程所需的零件、红外线装置用的零件和大型天体反射镜等。 发展历程 1990年 英国RankPneumo公司开发出Nanoform600，该机床能加工直径为600mm的非球面反射镜，加工工件的形状精度优于0.1μm，表面粗糙度优于0.01μm。 目前 英国Cranfield大学精密工程研究所(CUPE)研制的大型超精密金刚石镜面切削机床，可以加工大型X射线天体望远镜用的非球面反射镜(最大直径可达1400mm，最大长度为600mm的圆锥镜)。 日本制造的加工机床有：东芝机械研制的ULG―l00A(H)不二越公司的ASP―L15、丰田工机的AHN10、AHN30×25、AHN60―3D非球面加工机床等。 待续 面型加工技术 美国的Precitech公司，仍无自己的自由曲面刀具轨迹自动生成、预报及优化软件，虽然Moore公司目前开发了自由曲面刀具轨迹生成软件，仍未有配套的加工过程和策略优化模型及相应的面形测量软件，并且其软件局限于该公司自己生产的机床，不具通用性。英国Zeeko公司开发了自由曲面刀具轨迹生成软件，只适用于抛光机，其切削机理及表面生成过程完全不同于切削加工，不可应用于自由曲面的飞刀铣削过程。 3 1、经典研抛法 即经过铣磨，将毛坯加工成需要的形状。该形状需要提前做一计算，得到最大去除量形状，从而减轻后续过程任务量，程任务量。该过程需要用到铣磨机，属于下面要提到的粗磨的铣削加工，又称范成法加工。 铣磨成型 即用研磨剂，研磨光学元件表面以减少成形过程中产产生的下表面损伤。这一过程根据添加研磨剂尺寸不同，分为粗磨和精磨。精磨过程中还需要使用冷却液，起到冷却、润滑、清洗和化学反应等作用。精磨后的光学元件由于有凹凸层的存在而形成不透明的表面，这也是抛光的必要性所在。 研磨 可以分为初抛光和精抛光等两个过程。光学零件的抛光是获得光学表面的工序。其目的首先是去除精磨的破坏层，达到规定的表面疵病要求，其次是精修面形， 达到要求的光圈，形成透镜规则的表面。 抛光 2、轨迹成型法 轨迹成形法主要包括使用成形工具的轨迹成形法、使用仿形靠模的轨迹成形法和使用机 构轨迹的成型法等几种。 优缺点 传统的轨迹成形法加工自由曲面，共同的特点是加工效率高，但一般难于加工高精度的自