4金属薄膜电阻率的测量资料.doc

5金属薄膜电阻率的测量 实验目的 熟悉四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法。 了解影响电阻率的测量的各种因素及改进措施。 实验仪器 RTS-5型双电测四探针测试仪 实验原理 双电测组合四探针法采用了以下二种组合的测量模式（见图1） 将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行I14V23和I13V24组合测量，测量过程如下：1. 进行I14V23组合测量： 电流Ｉ从１针→４针，从２、３针测得电压V23+；电流换向，Ｉ从４针→１针，从２、３针测得电压V23-；计算正反向测量平均值：V23＝(V23+＋V23-)／2；进行I13V24组合测量：电流Ｉ从１针→３针，从２、４针测得电压V24+； 电流换向，Ｉ从３针→１针，从２、４针测得电压V24-；计算正反向测量平均值：V24＝(V24+＋V24-)／2； 3. 计算（V23／V24）值； （以上V23、V24均以mV 为单位）4. 按以下两公式计算几何修正因子Ｋ： 若1.18＜（V23／V24）≤1.38 时； K＝－14.696＋25.173(V23／V24)－7.872(V23／V24)2；…(1) 若1.10≤（V23／V24）≤1.18 时； K＝－15.85＋26.15(V23／V24)－7.872(V23／V24)2；…(2) 5. 计算方块电阻R□： Ｒ□＝Ｋ·(V23／Ｉ) (单位：Ω／□)；…(3) 其中：Ｉ为测试电流，单位：mA； V23为从２、３针测得电压V23+和V23-的平均值，单位：mV；6. 若已知样品厚度W，可按下式计算样品体电阻率ρ： ρ＝R□·W·F(W/S)／10 (单位：Ω.cm)；…(4) 其中：Ｒ□为方块电阻值，单位：Ω／□； W为样片厚度，单位：mm（W ≤3mm）； S为探针平均间距，单位：mm； F(W/S) 为厚度修正系数； 7. 计算百分变化率（以测试样品电阻率ρ为例）： ρM －ρm 最大百分变化（％）＝─────×100％…(5) ρm │ρa －ρc │ 平均百分变化（％）＝─────────×100％…(6) ρc ２（ρM －ρm ） 径向不均匀度Ｅ（％）＝──────────×100％…(7) ρM ＋ρm 以上式中：ρM 、ρm 分别为测量的电阻率最大值与最小值，单位：Ω.cm； ρc 为第1、2 点（即圆片中心测量点）测量平均值，单位：Ω.cm； ρa 为除第1、2 点外其余各点的测量平均值，单位：Ω.cm； （若测量样品的方块电阻值,则将(5)、(6)、(7)式中的ρM 、ρm 、ρa 、ρc 分别改成ＲM 、Ｒm 、Ｒa 、和Ｒc 。其公式意义与ρM 、ρm 、ρa 、ρc 相似）。 将主机、探针测试台、四探针探头、计算机连接，开启主机，启动RTS-5双电测四探针软件测试系统 放置样品于测试台，操作探针台压下探针，使样品接通电流选择对样品要进行的测试类别，及输入相关测试基本参数 执行【测量】功能→按弹出提示窗口调节主机电位器使主机电流显示为此值→按【确定】按钮继续测量执行【自动测量】功能→按弹出提示窗口调节主机电位器使主机电流显示为45.32μA→按【确定】按钮继续测量 【实时采集两次组合模式下的电压值】窗口实时显示两次组合模式下电压的正反向、平均值；【统计测试数据】窗口显示样品测试点的测量数据 对测量数据进行打印、保存、生成EXCEL文件响电阻率测量的各种因素及改进措施 1、环境温湿度????? 一般材料的电阻值会随环境温度及湿度的升高而减小。所以相比较而言，表面电阻(率)对环境湿度比较敏感，而体电阻(率)则对温度较为敏感。湿度增加，表面泄漏增大，体电导电流也会增加。温度升高，载流子的运动速率加快，介质材料的吸收电流和电导电流会相应增加，据有关资料报道，一般介质在70C时的电阻值仅有20C时的10％。因此，测量材料的电阻时，必须指明试样与环境达到平衡的温湿度。 2、测试电压及电场强度????? 介质材料的电阻(率)值一般不能在很宽的电压范围内保持不变，即欧姆定律对此并不适用。常温条件下，在较低的电压范围内，电导电流随外加电压的增加而线性增加，材料的电阻值保持不变。超过一定电压后，由于离子化运动加剧，电导电流的增加远比测试电压增加的快，材料呈现的电阻值迅速降低。由此可见，外加测试电压越高，材料的电阻值越低，以致在不同电压下测试得到的材料电阻值可能有较大的差别。????? 值得注意的是，导致材料电阻值变化的决定因素是测试时的电场强度，而不是测试电压。对相同的测试电压，若测试电极之间的距离不同，对材料电阻率的测试结果也将不同，正负电极之间的距离越小，测试值也越小。 3、测试时间????? 用一定的直流电压对被测材料加压时，被测材料上的电流不是瞬时达到稳定值的，而是有一衰减过程。在加