第七章 真空系统测量.docVIP

真空系统设计 7．1材料参考： 在维护真空质量中，其中一个首先关心的问题是修理和/或整改真空室材料和相关设备的选择。任何渗漏总是保持在最小。另外，对于在真空中用于选择材料的普通参考，在选择材料时下列标准必须使用： 必须避免多孔性因为进入材料空隙的气体或空气会转移到系统里面。 一些材料的除气率大高而不能接受。当涉及大面积时这点最重要。 当看见进入真空室里的塑料和润滑剂时蒸气压力是一个重要的考虑。 可焊接度很重要因为一些材料难以焊接和保持真空的完整性。 相同的热扩张率（a,b）很重要因为一起加入材料。 典型真空材料的特征 没有单一的材料是真空应用的最佳选择。下列列出的是有典型除气率、优点和缺点的普通材料： 304不锈钢：也叫316 优点： 防腐，易于焊接，无磁性 最低钢除气率：10-8到10-10TORR-公升/秒/CM2。 缺点： 昂贵 低碳钢： 低碳且对UHV低硫磺 优点： 低花费 缺点： 更高的除气率，喷砂低碳钢----除气率10-6到10-10 TORR-公升/秒/CM2。 铝：6061-T6型（普通） 优点： 良好机械加工性，可成形性，低花费，轻，低除气率（10-7到10-8TORR-公升/秒/CM2） 缺点： 氧化 铜： 最初使用于真空线、垫圈和低温学应用、隔板、活板等。 优点： 可成形性，易于焊接，良好除气率（10-7到10-9 TORR-公升/秒/CM2）热传导性。 缺点： 加工硬化，倾向于腐蚀 黄铜： 用于安装，紧固，部件。 优点： 与铜一样，良好除气率（10-6到10-7 TORR-公升/秒/CM2）。 玻璃： 最初使用耐热玻璃（硼硅酸盐）和石英。除气率10-7到10-8 塑料： 多数塑料有良好的除气率10-5到10-8。多数温度受限制。 下列材料不能用于结构或高真空室修理因为它们的高蒸气压力，特别是在提升温度应用。当选择材料时，如果必须使用下列的，与它们相关的问题必须解决。 锌（在锌靶材中发现） 铅（在焊接中发现） 镉（用作螺丝板） 硒（在303不锈钢中发现） 硫磺（也在303不锈钢中发现） 7.2材料构成技术 当加入材料清单时首先考虑的是它们的兼容性，共同的设计和清洁。加入方法包括： 惰性气体拱形焊接（TIG）。避免与焊剂镀膜杆的棒状拱形焊接。（如果必须使用棒状拱形焊接，推荐一个两步方法。第一，根传递，与浓度填充杆使用并之后传递流量与真空的完整。经过这方法要求获得真空密封度。） 气体焊接、用黄铜镀和坚硬的或银焊接。又在这里，主要问题是达到结合的焊剂和化学药品。 软焊接。这个方法经常避免使用因为低机械力量，与焊剂有关的多孔性和腐化问题。当拱形焊接时，有几个重要的原则要遵循： 任何可能时候，做单一传递，连续地，高浓度（90%）焊接。如果需要多样的传递，首先渗漏检查或根传递。 只在接合处的真空侧面做所有连续的焊接（图7.2.1）。 设计拐角和重叠以避免在真空侧面的空隙率（图7.2.1）。 在接合处的大气侧面忽略增加浓度的焊接。这防止媒介空间或量的形成（图7.2.1）。 不要在真空侧面焊接前一个的焊缝。在重新焊接前磨掉旧的焊缝。 不能过分强调要加入的表面清洁。例如剥落、氧化、油、油脂、油漆和焊剂残渣之类的污染物促成高除气率、机械地减弱结合、增加多孔性并且是潜伏的实质渗漏。 清洁方法包括喷砂（玻璃水珠珩磨在内表面上）、磨和加工。这些方法必须跟随用溶液足够的清洗、酸洗或烘培后。 7.3真空系统设计计算 排出一个假设量到一个特别压力和加工流量率的时间都决定了泵的选择。不同因素使之几乎不可能决定一个精确的数学计算方法，但一个接近的大约是可能的。 泵下降时间T的公式与一个假设量V和持续泵速度S关系是： T V2.3F/S 在这里F是泵从一个假设最后压力表的下降因素。V，S和T必须是用普通单位。 我们已假设大气压力为103 TORR（实际标准是7.6X102 TORR）。 例如，假设我们使用在图7.3.1表示的泵因素的泵，1.65公升每秒10-3 TORR，然后泵下降1公升的一室到10-3则变为T 1 2.3 6 8.4秒 1.65 如果选择每秒2.67公升大气压力的泵速度，计算时间为T 1 2.3 6 5.2秒 2.67 更好的近似值是使用1ATM与10-3 TORR之间的平均泵速度（我们感兴趣的范围）： S 1.65+2.67 2.16公升每秒 2然后T 1 2.3 6 6.4秒 2.16 作为进一步的例子，决定一个15公升室到10-3 TORR的泵下降必要时间，使用同样的泵： 从T V 2.3 F S 我们可以看到15倍的量将花费15的时间。因为1公升花6.4秒，15公升将花15X6.4 96秒。 如果我们要排放室到10-4 TORR，我们不得不找到10-3到10-4的平均速度。注意泵速度持续在更低下下降。在这种情