微观的机电一体化技术.docVIP

“微观”的机电一体化技术——微机电系统（MEMS） 班级：机电技术教育122班 姓名： 胡敏 学号：1664120209 微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。这些系统的大小一般在微米到毫米之间。在这个大小范围中日常的物理经验往往不适用。比如由于微机电系统的面积对体积比比一般日常生活中的机械系统要大得多，其表面现象如静电、润湿等比体积现象如惯性或热容量等要重要。它们一般是由类似于生产半导体的技术如表面微加工、体型微加工等技术制造的。其中包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等等。微机电系统是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统，是一个独立的智能系统。主要由传感顺、作动器和微能源三大部分组成。微机电系统具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度。微机电系统。它是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统微机电系统。微机电系统涉及航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等应用领域。微机电系统的制造工艺主要有集成电路工艺、微米/纳米制造工艺、小机械工艺和其他特种加工工种。微机电系统技术基础主要包括设计与仿真技术、材料与加工技术、封装与装配技术、测量与测试技术、集成与系统技术等。 1.发展背景 微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems 简称MEMS） 是近年来发展迅速的高新科学技术, 是一种集成微电子和微机械、具有微观尺寸的静止或移动部件的装置。1959 年，美国物理学家R Feynmam 提出了制造微型机械的设想。 1962 年第一个硅微型压力传感器问世，其后微梁、微齿轮等微型机构又开发成功。20世纪70年代末期，斯坦福大学开发出硅微加工的气相色谱仪，随后人们又提出了制造微传感器、微处理器的构想。20 世纪80 年代初，Middelhoek著文预示微系统的出现和发展前景，对微系统的研究起着重要的推动作用。美国在1987 年举行的IEEE Micro-robots and Tele-operators 研讨会的主题报告标题为small machines，large opportunities，首次提出了微机电系统（micro electro-mechanical system , MEMS）一词, 标志着微机电系统研究的开始。1988年, 美国加州大学伯克利分校研制出直径为60~120μm的硅微型静电电机， 引起了人们的极大关注。对微机电系统研究产生很大的鼓舞。 由此可见，美国有关微系统的研究是由微电子技术发展而来，故称之为MEMS，这也是目前广为使用的名称。在欧洲,，1989年在荷兰特文蒂( Twente) 以Micro Mechanics的名称首次召开有关微系统的研讨会。1990 年, 在柏林召开的研讨会改称为MST (micro system-technology)，即微系统，这一称谓更强调系统的观点，即如何将多个微型化的传感器、执行器、处理电路等元部件集成为一个智能化的有机整体。欧洲在该领域的重要贡献是开发出扫描隧道951。关于微机电系统研究——显微镜和原子力显微镜以及LIGA工艺。 在精密机械加工方面有传统优势的日本则称之为Micro-Machine即微机器。并于1988年正式建立微机械研究组织。到20 世纪末，MEMS技术已逐渐形成一门独立学科, 得到广泛的应用. 根据NEXU S2002 年市场调查结果，目前商业MEMS及其应用发展迅速，每年可销售1 亿多个MEMS产品，2000 年MEMS的销售额更是达到300 亿美元，预计到2005 年达到680 亿美元。2002年5 月在San Jose 召开的MEMS传感器世界博览及研讨会提出了BioMEMS/BioSensor 的新观念，并探讨了MEMS在生物工程中的应用前景及所面临的挑战。2. MEMS的定义 作为最近十几年来新出现的一门技术，MEM对现代科技的影响，将超过晶体管的出现，堪称为跨时代的技术。MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。但是，目前关于MEMS尚无统一的定义。一般地说MEMS具有以下几个非约束性的特征：（1）尺寸在毫米到微米范围之内，区别于一般宏（Macro），即传统的、大于 1cm尺度的“机械”，但并非进入物理上的微观层次。（2）基于（但不限于）硅微加工（Micro fabrication）技术制造。（3）与微电子芯片类同，可大批量、低成本生产，使性能价格比比之传统机械制造技术，大幅度