一种铁电复合膜及其制作的原型器件导论.docVIP

专利申请信息确认表 说 明 书 摘 要 附 图 。铁电材料反常光生伏打效应光照。压电的效应，压电层在电场作用下产生。层光生电压和压电层的性能需要导电性良好的底电极材料。 底电极的结构正是本发明专利的创新点之一直接底电极将导线权 利 要 求 书一顶电极层，设置在光伏材料层上，用于将光线到光伏材料层。 根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述衬底层采用SrTiO3SrTiO3(STO)与 SrRuO3(SRO) 均属于钙钛矿型氧化物，与PZT 的晶格匹配程度较好且导电性优良以SRO作为衬底和底电极，易制备出结晶度好、 漏电流小、抗疲劳性能高的 PZT 取向薄膜是否可用其他材料替换。 根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成也采用匹配，性好的钙钛矿型aNiO3等。是否有其他材料替换。 4.锆钛酸铅Pb（ZrxTi1-x）O3），也可采用铅（bTiO3）性（aTiO3），但后两者的比PbZrxTi1-x）O3差。是否有其他材料替换中的一种制成，x取值范围0.52,0.53，在此比例，形成准同型达到最大值为佳，所以Pb（Zr0.52Ti0.48）O3。 5.根据权利