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光栅式位移传感器 光栅式位移传感器的分类 1 测量线位移的长光栅 2 测量角位移的圆光栅 光栅传感器的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副（主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。 光栅式位移传感器的工作原理 长光栅是在两块光学玻璃上或具有强反射能力的金属表面上，刻上相同均匀密集的平行细线。将两块玻璃板或金属板重叠放置，并使他们的刻线间有一微小夹角θ，此时，由于光的干涉效应，在与光栅栅线近似垂直方向上将产生明暗相间的条纹，这些条纹称为莫尔条纹，根据莫尔条纹设计了光栅传感器。 莫尔条纹形成的原理 莫尔条纹技术的特点 （1）调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了 放大作用，又提高了测量精度。 （2）莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信 号作进一步细分，即采用“倍频技术”。这样可以提 高测量精度或可以采用较粗的光栅。 （3）光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻 线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。 因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。 这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 光栅副：指示光栅＋主光栅 测量电路 径向光栅进行角度测量 * 光源：钨丝灯泡；半导体发光器件 光电元件：光电池；光敏二极管 横向莫尔条纹的斜率 莫尔条纹间距 莫尔条纹的宽度BH由 光栅常数与光栅夹角决定 a+b W称为光栅的栅距（或光栅常数） 通常情况下，a b W/2 光栅副：指示光栅＋主光栅 当位移量X变化一个栅距时，其输出信号变化一个周期，整形后变化为一个周期的脉冲输出，则位移量为：X＝NW 当标尺光栅相对于指示光栅转动时，条纹即沿径向移动， 测出条纹移动数目，即可得到标尺光栅相对指示光栅转动的角度。 *