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非接触 空气耦合超声波测距的讨论Evaluation　of measuring displacement  by Non Contact Air Coupled Ultrasonic Testing 常　俊杰 JUNJIE CHANG日本探头株式会社JAPAN PROBE CO., LTD. 非接触空气中数十毫米以内的工作的距离和位移测定方法是激光的主流。然而，用激光测定的工作也是有困难的，比如光吸收的黑色橡胶和透明的东西是表面反射小的测量困难，并有半透明的东西是表面反射背面反射等重叠的测量困难。 对此，运用空气耦合超声波的反射法测量的话，任何工作都只需在表面反射测量。这次工作使用2MHz的聚焦型超声波探头，采用空气耦合超声波反射法测量，可以实时准确测量确定距离。 ■引言 现在市面上销售的位移测量仪器：超声波和激光的长处和短处 传感器方式 原理 分辨率 备注 超声波 反射发 最高1mm程度 400kHz以下的超声波利用高分辨率目标 激光 调制光外差干涉方式 超高分辨率20pm 光的反射率不好的话测量困难 激光 共焦点 高分辨率 测定距离范围狭窄 激光 三角测量 分辨率 设置角度测量可否产生 ※研究的意义 　超声波测定距离的需求 　?黑色橡胶　　　　 　?狭窄的空间　　 ■利用点聚焦空气探头的精度确认 Fig.2　Photograph of experimental　setup 环境和实验设置的照片 Fig.1　Photographs　of　environment and experimental　setup　 Fig.3　A-mode Scope (2MHz :2K15 R15) ※测量环境的情况： 　　通常环境下 　 短时间的测定 　　温度变化0.1℃以内 　　无风 PC温度计 点聚焦空气探头 反射板 sus304 轴前后移动 热点对(外） 热点对（内） 点聚焦空气探头 发送波形 反射波 第一次 反射波 第二次 数码微量仪表表示 温度计表示画面 pc测定画面 数码千分尺 点聚焦 空气探头 反射板 ss304 数码微量仪表 发射接收器 Fig.4　 B-mode Scope and it’s example of A-mode Scope (2MHz :2K15 R15) ■详细测量的例子 Fig.5　 Relationship between displacement of reflector and propagation time Table2　 Relationship between displacement of reflector and propagation time ※从平坦的反射面的测量精度可以看清。 数显千分尺的位置变化B模式测量 ※非常高的相关，直线性 B模式 检测出最高 峰 第一回 检测出最高 峰 第二回 第一回最高峰 第二回最高峰 26.5度15毫米的位置作为中心 0.100毫米上下0.5mm移动，测量 反射波（B模式表示) ■误差的探讨 Fig.6 Influence?of??propagation?time?by?temperature of chamber ※10个小时连续测量温度的高峰时间的变动 ※温度测量结果是连动的。 　 ①短时间的测量温度影响很少 ②温度矫正可以减少误差 第一回的最高峰 经过时间（分） ■应用测量的例子　（样品和测量系统的说明） Fig.7　Configuration of focused air probes Fig.8　Photograph of experimental setup ※丙烯管道　外径φ７０　　磁带等级差别　（1枚、2枚、3枚）　　1张60μm的东西　宽25mm 　　外侧，从内侧偏心及落差进行测量。 ※用镜子，细小的地方也可以进行测量。 旋转舞台2 rpm测量 外侧周囲220毫米 内侧周囲207毫米 一周215点的测量，约1毫米的间距 z台 探头 2k15 R15 X Y微调台 探头 0.8k20 R40 旋转台 楔块（45度 镜面） 丙烯管道 外径 70 磁带阶梯差测量用 （内测黏贴外侧） 电缆 探头外观形状 探头外观形状 安装板 安装螺丝 45度楔块（镜面） 丙烯管道 外径 70 内经66 ■应用测量结果 Fig.10 Outside displacement profile of pipe (2MHz　:2K15 R15） Fig.11 Inside displacement profile of pipe （800kHz: 0.8K20 R40） Fig.9　　B-mode Scope and it’s exampl