光电测试技术-第4章 激光干涉测试技术.ppt

光电测试技术  哈尔滨工业大学 概述 历史进程： 特点： 具有更高的测试灵敏度和准确度； 绝大部分的干涉测试都是非接触式的，不会对被测件带来表面损伤和附加误差； 较大的量程范围； 在精密测量、精密加工和实时测控的诸多领域获得广泛应用。 分类： 另外还可以利用有关干涉图的接收和数据处理技术计算出点扩散函数、中心点亮度、光学传递函数等综合光学象质评价指标。 §4-1 激光干涉测试技术基础 1.1 干涉原理与干涉条件 1．干涉原理 光干涉的基础是光波的叠加原理。由波动光学知道，两束相干光波在空间某点相遇而产生的干涉条纹光强分布为： §4-1 激光干涉测试技术基础 1.1 干涉原理与干涉条件 2．干涉条件 通常能够产生干涉的两列光波必须满足三个基本相干条件： 频率相同 振动方向相同 恒定的位相差 §4-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响干涉条纹对比度的因素 干涉条纹对比度可定义为 §4-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响干涉条纹对比度的因素 ①光源的单色性与时间相干性 如图，干涉场中实际见到的条纹是λ到λ＋Δλ 中间所有波长的光干涉条纹叠加的结果。 当λ＋Δ λ 的第m级亮 纹与λ 的第m+1级亮纹 重合后，所有亮纹开 始重合，而在此之前则是彼此分开的。则尚能分辨干涉条纹的限度为 §4-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响