真空计原理.pptVIP

真空計慨論 1.真空計的分類 2.U型管 3.膜盒真空計 4.波爾登管 5.熱電偶真計 6.派藍尼真空計 7.電容式真空計 8.放電管 9.冷陰極真空計 10.離子真空計 1.真空計的分類 直接式:是利用“壁”或“膜”受力作用產生位移變化來做壓力指示 間接式:透過某些物理上量的變化(如熱傳導,電離)以量測真空度 直接式真空計: 液面 U型管 麥式真空計 固體面 波爾登管 輻射真空計 膜盒真空計 電容真空計 間接式真空計: 能量轉移(熱導) 派藍尼 熱電偶真空計 電荷產生(電離化) 離子真空計 冷陰極真空計 2.U型管 使用範圍 1atm~10E-2torr 特性利用水銀或低蒸氣壓 必須考慮水銀或低蒸氣壓油之蒸氣壓,一般而言低蒸氣壓之液體,其分子量較大較重 3.膜盒真空計 使用範圍 1atm~0.1torr 工作原理:使用銅鈹合金,一端維持著密封參考真空度,另一端接真空系統,當真空系統壓力改變時,膜片產生偏折,帶動指針指示真空度 4.波爾登管 量測範圍 1 atm~1torr 工作原理:波爾登真空計一端接真空系統,一端彎成橢圓形,並封閉起來,當真空度變化時波爾登管會產生彎曲,帶動齒輪偏轉,來指示真空度 特性:堅固耐用,但指示粗略 指示值不隨氣體種類及成份而改變 可量測大於一大氣壓以上 5.熱電偶真計 使用範圍 1atm~10E-3torr 工作原理:真空系統中之氣體分子與燈絲接觸並帶走熱量,真空度愈差則氣體分子愈多,帶走的熱量則愈多,加熱燈絲的溫度就變的愈低,熱電偶的電壓就愈低,反之溫度愈高,熱電偶的電壓就越高,由熱電偶電壓的大小(0~15mv)來指示真空度 6.派藍尼真空計 使用範圍 1atm~10E-3torr 工作原理:感測頭使用熱電阻係數大的發熱體,當係統內的壓力大時,被帶走的熱量就愈多,發熱體溫度降低,其電阻就跟著降低,造成惠斯登電橋不平衡,表頭就會有電壓指示,將其刻化成壓力之刻度指示真空度 7.電容式真空計 使用範圍 1atm~10E-5torr 工作原理:電容真空計實際上與膜片真空計相同,指示將膜片真空計的機械偏折量轉換為電的訊號,膜片位於兩真空度不同的電極之間,當其發生偏折時,膜片與電極間之相對電容量即會發生變化 8.放電管 量測範圍 10torr~10E-3torr 工作原理:利用高壓氣體輝光放電的現象以作真空系統真空度之指示 壓力大小----由放電形狀判定 氣體種類----由放電顏色決定 9.冷陰極真空計 量測範圍 10E-2~10E-7torr 工作原理:利用殘餘氣體的離子電流來量測真空度,其不利用燈絲加熱產生電子,而利用高壓真空放電產生電子,經磁場影響呈螺旋狀運動以增加電子碰撞的機會,因此產生較大離子電流,依其離子電流大小作為真空度的指示 10.離子真空計 量測範圍 10E-1~10E-12torr 工作原理:電子由陰極熱燈絲產生,被加速衝撞氣體分子,並將氣體分子離子化,正離子被負極所吸往,造成離子流,經由電阻造成電壓差,將其刻畫成刻度即為壓力 X ray 效應 傳統的離子式真空計,當陰極放射出電子衝擊到柵極時,會放射出 x ray ,放射出的的 ｘray 有一部分被集極所吸收而產生光電子,光電子帶負電,當離開集極向柵極移動時,相當於帶正電的離子流向集極,造成壓力上升的誤差, 這就稱之 x ray 效應。　 BA式離子真空計 改良式的離子真空計,將集極的面積縮小,因此在集極產生 x ray 的可能性小,且 x ray 在外圍管壁所產生的光電子,也會因為集極與管壁間之相對電壓關係,而不易到達集極。 * * h 真空系統 大氣壓 真空系統 參考真空度 2~3kvdc 陰極 陽極 陰極 集極 柵極 陰極(v=45) 外殼(v=0) 柵極(v=180) 集極(v=0) 光電子 X ray 來自外殼的光電子 來自集極的光電子 傳統式 B-A式 放射電子