微机械加速度计专题1讲解.pptVIP

电容式微机械加速度计的研究 主要内容 第一部分：研究背景与意义 第二部分：工作原理与设计 第三部分：制作工艺 第四部分：测试结果 第五部分：总结 研究背景与意义 加速度计是用来测量加速度的仪器 压电式加速度传感器 压阻式加速度传感器 电容式加速度传感器 伺服式加速度传感器 研究背景与意义 地震检波器 汽车：安全气囊、防抱死系统 游戏控制 图像自动翻转 GPS导航系统死角补偿 计步器功能 防手抖功能 闪信功能 硬盘保护 研究背景与意义 灵敏度 分辨率 带宽 量程 非线性度 温度响应 横向灵敏度 稳定性 研究背景与意义 电容式微机械加速度计的优点： 灵敏度高、稳定性好、温度系数小、可通过静电恢复力使其工作在力平衡状态下 变面积式的电容式微机械加速度计的优点：可以保证输出电压与加速度之间的线性度 第二部分：工作原理与设计 一、电容式微机械加速度计的工作原理 二、电容式微机械加速度计的结构设计 电容式微机械加速度计梁结构的选取 常见的梁：双端固支直梁，折叠梁，蟹脚角形梁，蛇形梁和U形梁 U形梁的优点： （a）结构简单，可通过DRIE的方法制作 （b）圆弧部分有利于结构中应力的释放 （c）弹性系数对梁的厚度要求不高 （当梁的厚度与质量块的厚度相同时， 系统的固有频率和梁的厚度无关）