光电技术第7章1节精讲.pptVIP

当参考光束与测量光束的光程差Δ是波长λ的整数倍时，即Δ＝±K入(K=0，1，2，3…)时，两束光波的相位相同， M1处的光强度最大(出现亮点)，光电器件输出高电平；当光程差Δ＝±(K十1/2) λ时，两束光波的位相差为π， M1处的光强度为零(出现暗点) ，光电器件输出低电平。 当M3沿着测量光束的光轴移动时，在M1上将出现亮暗交替的干涉条纹，其光强度的变化规律为 Iv=Iov(1+KIcos(2πΔ/λ)) Iv=Iov+IovKIcos(2πΔ/λ) (7-34) 式中，Io为平均光强度，KI为干涉条纹的对比度。 光程差每变化波长λ时，干涉条纹暗亮变化一次，当干涉条纹变化n次时，光程差Δ＝nλ。对于图7-14所示结构，光程差Δ是动镜M3位移量L的二倍。因此，被测位移量 L=nλ/2 ( 7-35) 只要计量干涉条纹的个数n，便可测出测量头移动的长度。这种结构的量化单位为λ/2。 根据两个光电器件输出脉冲的先后判断测量头的移动方向（即条纹是由亮变黑还是由黑变亮） 。然后，采用可逆计数器进行加、减计数。 信号处理电路 当动镜移动时，光电接收器输出近似的正弦信号，经放大后由施密特比较器进行整形。如条纹右移，则?V1的相位超前900，V0输出为“1”，控制可逆计数器做加法计数，反之则V2的相位超前900 ，V0输出为“0”， 控制可逆计数器做减法计数。 2. 莫尔条纹测位移 两块光栅以微小角度重叠时，在与光栅大致垂直的方向上，将看到明暗相间的粗条纹，称为莫尔条纹(moire fringe)。 如图7-16所示为两种计量光栅示意图。其中图（a）为刻划光栅。 图7-16(b)为用腊腐蚀或照相腐蚀的方法制成的黑白光栅。计量光栅的黑白线条等宽，光栅的节距（光栅常数，组成莫尔条纹的两块计量光栅的相邻刻线之间的宽度）为等间隔的。 光栅的节距大于0.01mm 图7-17中的a－a线透光面积最大，形成条纹的亮带，在b－b线上，光线被暗条相互遮挡，形成暗带。 从条纹的形状可以看出，莫尔条纹的位置在两光栅刻线夹角θ的补角平分线上。当两光栅相对移动时，莫尔条纹就在移动的垂直方向即θ角的平分线上移动。 假设光栅的节距为d，两光栅的栅线夹角为θ，则条纹的间隔（宽度）m 与d 和θ的关系为 一般θ角很小 （7-36） （7-37） 光栅每移一个栅距，莫尔条纹移过一个间隔（即一个条纹）。因此，只要计测条纹移过的数量n，便可计算出光栅的位移量L，即 L=nq (7-38) 式中q=d为量化单位，表示每条纹的长度量。 莫尔条纹信号通过狭逢入射到光电器件上，它输出的光电信号近似于正弦波。用两个光电器件输出的信号可以判断光栅移动的方向。两路光电信号的相位差为π/2（放置间距调整为莫尔条纹间距的1/4）。 长光栅莫尔条纹 播放动画 长光栅莫尔条纹 长光栅光闸莫尔条纹 播放动画 特例：当 ?=0, d1=d2 → m=? → 光闸莫尔条纹 长光栅纵向莫尔条纹 特例： 当 ?=0, d1≠d2 → 纵向莫尔条纹 当光栅转盘旋转时，指示光栅与圆盘光栅产生的莫尔条纹将沿圆盘径向移动，光电探测头读出并判断莫尔条纹的移动量和方向，便将角度量变换成莫尔条纹信号。 只能测量角度的变化量，不能得到角度的绝对值。因此，称它为增量式编码器。 光栅盘每条刻线表示角度的增量，即量化单位。当光栅转盘转过一条刻线时，莫尔条纹将变化一次，通过计算莫尔条纹的变化次数n，便可得到转轴旋转的角度θ，即 θ=qn (7-39) q为量化单位，表示每条纹的角度量。 3．增量式编码器(莫尔条纹)的应用1）精确测量角度和角位移；2）精确测量转速；3）测量线速度，由测量转速间接求得；4）测量线性位移，由测量角位移间接求得。 播放中…… 圆弧莫尔条纹 单击准备演示 播放动画 光闸莫尔条纹 播放动画 播放中…… 环形莫尔条纹 播放动画 播放中…… 单击准备演示 单击准备演示 辐射形莫尔条纹 播放动画 由于存在栅距误差,故莫尔条纹不是直线,但莫尔条纹是由光栅一系列刻线的交点组成，光电元件接收的是某个区域中所含刻线的综合效果,故对栅距误差起到平均作用，从而提高精度 。 2、误差的平均效应 （7-40） 莫尔条纹法进行几何量的测量有如下优点：???? ??1、 位移量的放大作用 将莫尔条纹间隔与光栅距之比定义为光栅付的放大倍数α，对于微小倾角有 光电器件接收莫尔条纹光信号是