气敏传感器详解.pptVIP

气敏传感器的性能要求： 对被测气体具有较高的灵敏度 对被测气体以外的共存气体或物质不敏感 性能稳定，重复性好 动态特性好，对检测信号响应迅速 使用寿命长 制造成本低，使用与维护方便等 1.3 半导体式气敏传感器的工作原理 半导体式气敏传感器： 利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或者浓度 半导体式气敏传感器可分为： 电阻式 非电阻式 表面电阻控制型气敏传感器的工作原理 ㈠表面电导理论 表面电阻控制型元件的表面电阻会根据待测气体种类及浓度的不同增大或减小。当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。吸附分子和材料表面层交换电子而带上不同的电荷成为正离子或负离子，同时影响半导体材料表面层的性质。 正是由于吸附的气体分子从材料表面得到或者给予电子，使表面层的阻值发生了改变，我们分别考虑以下两种情况： 当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力时， 吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附， 半导体表面呈现空间电荷区。氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体或电子接收性气体。 如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气体或电子供给性气体。 因此，当氧化型气体吸附到N型半导体（SnO2, ZnO)上，还原型气体吸附到P型半导体(CrO3)上时，将使半导体载流子减少，而使电阻值增大。 当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。 规则总结： 氧化型气体＋N型半导体：载流子数下降，电阻增加 还原型气体＋N型半导体：载流子数增加，电阻减小 氧化型气体＋P型半导体：载流子数增加，电阻减小 还原型气体＋P型半导体：载流子数下降，电阻增加 2.1 SnO2气敏电阻的基本检测电路 图6 ：输出电压与温度的关系 图7 气体检测报警电路 2.2 半导体传感器在实际电路中的应用 一氧化碳、液化气、甲烷、丙烷都是有毒可燃气体，当空气中达到一定浓度时，将危及人的健康与安全。图7所示电路为家用有毒气体探测报警电路， QM-N10传感器的主要参数 响应时间：≤10s 恢复时间：≤60s 加热电压：5V ± 0.5V 加热功率：≤0.5W（加热丝冷态电阻为50Ω±2Ω） 抗干扰能力：丁烷报警浓度设在0.3%时在下述条件下不会误报警 工作环境：温度为-10－+50℃；湿度为≤95%RH。 几种常用半导体气敏器件的基本参数 3 气敏电阻外形 酒精传感器 酒精测试仪 呼气管 家庭用煤气报警器 一氧化碳传感器 1.1 概述 气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。 由于气体种类繁多, 性质各不相同，不可能用一种传感器检测所有类别的气体，因此，能实现气-电转换的传感器种类很多，按构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体两大类。目前实际使用最多的是半导体气敏传感器。 图1：半导体式气敏传感器的分类 半导体气敏传感器 电阻控制型 非电阻控制型 表面电阻控制型 体电阻控制型 二极管式气敏传感器 Pd-MOSFET气敏传感器 MOS二极管式气敏传感器 1.2 半导体气敏元件的特性参数 气体敏感元件，大多是以金属氧化物半导体为基础材料。当被测气体在该半导体表面吸附后，引起其电学特性(例如电导率)发生变化。 根据半导体变化的物理性质，可分为电阻型和非电阻型两种。在此只介绍电阻型。 （1）气敏元件的电阻值 将电阻型气敏元件在常温下洁净空气中的电阻值，称为气敏元件(电阻型)的固有电阻值，表示为Ｒａ。一般其固有电阻值在(103～105)Ω范围。 测定固有电阻值Ｒａ时, 要求必须在洁净空气环境中进行。由于经济地理环境的差异，各地区空气中含有的气体成分差别较大，即使对于同一气敏元件，在温度相同的条件下，在不同地区进行测定，其固有电阻值也都将出现差别。因此，必须在洁净的空气环境中进行测量。 （2）气敏元件的灵敏度 是表征气敏元件对于被测气体的敏感程度的指标。它表示气体敏感元件的电参量（如电阻型气敏元件的电阻值）与被测气体浓度之间的依从关系。表示方法有三种 （a）电阻比灵敏度K （b）气体分离度 RC1—气敏元件在浓度为C1的被测气体中的阻值： RＣ2—气敏元件在浓度为C2的被测气体中的阻