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SH-3000G露点仪 使用说明书 上海电控研究所 2012年1月 用途 SH-3000G露点仪是用于测量高纯气体中微水分含量的精密仪器，可用于连续性测量，具有重复性好、灵敏度和准确度高、测量周期短、操作方便、读数直观、重量轻、体积小、省液氮等特点。 组成及工作原理 露点仪是由气路、光路、计算机电路三个部分组成，三个部分在程序的控制下合作完成整个测量过程中的信号检测、控温制冷、露点值显示并锁定。各部件由电缆和管路连接。 在一定压力下的气体, 当温度略低于露点 气体中水蒸汽饱和时的温度 时，气体中饱和的水蒸汽就凝结成露水，附着在测量镜面上的露水使照射在镜面上的平行光线产生漫反射，使接收硅光电池上产生电流，通过信号采集电路和控制电路协同工作，判定被测气体的“露点”温度值，显示并锁定该温度。露点仪就是基于上述原理来测量气体开始出现露水时的瞬时温度（即露点）。在测量状态下工作时，仪器能自动平衡测量所需的光路系统，当采集到露点数据后能自动加热至露点消除后再次自动降温，直至再次出现露点并会反复循环进行。 本仪器使用的流量计用氮气标定，根据浮子流量计的说明书，其标定状态为P1 760 毫米汞柱，T1 293K（即t1 20℃）。用标准气体校准SH-3000G型露点仪，是在常温进行的。当样气流量波动在400±20ml/min范围内时，测量结果不受影响。 基本技术性能 测量方式：全自动连续测量； 仪器在规定测量范围内测量准确度为：±2℃； 使用环境：0℃～+40℃； 电源交流：220V±20V，50Hz； 功率消耗：≤300W； 绝缘性能：各个电气接口与外壳绝缘，接口与外壳电压为550V时绝缘电阻大于20MΩ； 测量范围：-25℃～-80℃。 使用方法 测量方法 SH-3000G露点仪操作面板如图1所示。主要包括液晶显示器、功能按钮、确认按钮、电源开关、流量计、流量调节阀门和露点指示灯。 图1 SH-3000G露点仪操作面板示意图 常规测量 测量样气时主要按照以下步骤进行： 把样气管道与仪器的管接头拧紧，注意气路的气密性。制冷气体和被测气体接在不同的管接头上，不能接错。制冷气体接头接在液氮瓶上与液氮瓶相连，液氮瓶可选用不同规格；被测气体接在被测气体进气接头，在仪器的后部（注意：不能接在被测气体出气接头）。 连接电源线，按下“电源”按钮，仪器要求预热时间超过15分钟。缓慢拧开测气阀门，并通过面板上的旁路阀将被测气体调节到400毫升/分钟（被测气体为氮气时，其他气体流量按照第2条中所述方法进行计算）。开机后，仪器初始为吹风状态，用被测气体吹除采样管线及测量腔吸附的水分。吹气时间视被测气体的含水量而定，一般为30分钟左右。仪器首次启用或经过长时间放置后，吹气时间需要适当长一些，对低露点测量则需要更长时间，并宜用较大流量进行。高压被测气体在进入测量腔之前应当减压至0.2MPa以下。 擦拭液氮瓶盖和瓶口以及密封圈，保证无水。拧紧盖子，不能漏气。向液氮瓶中倒入液氮，拧紧倒液氮口的螺丝，注意：倒液氮时，不用拧开瓶盖，只需要拧开瓶口上的小盖，倒入即可。 开机界面如图2所示，界面上方为仪器当前状态，用户按下“功能”键可以选择不同功能，包括吹风、测量、升温、降温和自定义测量等功能。按“功能”键到测量功能，再按下“确认”键，进行露点测量。界面实时显示光路电压值和镜面温度值，当检测出露点后，操作面板上的露点指示灯会亮起，同时屏幕自动显示露点温度，下次测量开始时指示灯熄灭。仪器在测量状态时自动进行降温、检测、升温再降温、升温等过程，不断重复测量。注意：当仪器进行首次测量时，由于镜面温度由室温逐渐下降至-20℃以下，在此过程中可能会造成镜面轻微的形变或产生过冷水等影响，从而导致光路发生变化引起仪器误判断露点值。为此，SH-3000G程序设计当用户按下测量键后的首次测量不显示露点温度，检测到露点后自动加温、消露，降温，第二次测量才开始显示露点温度。这样设计的目的一方面为了避免上述干扰，另一方面是对被测气体的露点温度进行预估，从而更好地控制降温速度，使得测量更加准确。 图2 开机界面示意图 为使液氮气压力基本保持恒定，当液氮瓶中的液氮量消耗至瓶容积的十分之一时，应该适时添加液氮后再继续测量。 测量结束，按下“功能”键至吹风状态，按下“确认”键。然后更换被测气体源或关闭电源。 用户自定义测量 SH-3000G增加了用户自定义测量功能。主要适合用户对量产气体进行合格性判断使用。具体操作步骤如下： 按功能键选择自定义测量功能，按下确认键，进入设定目标温度界面，如图3所示。使用触摸屏输入被测气体合格的目标露点温度值，屏幕上的三位数字循环设定，直到输入正确温度后，点击触摸屏左侧的“确定”选项，选中“确定”选项（出现√表示选中）。 按下面板上的确认键（不是触摸屏），此时屏幕