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脉冲辉光放电在分析上的应用 Ph. Belenguer, M. Ganciu, Ph. Guillot, Th. Nelis, 摘要：非平衡等离子体，如辉光放电，已用于直接分析固体材料表面。在过去的20年，有几个研究小组了脉冲辉光放电咋分析中的应用。欧洲两个项目，EMDPA和GLADNET，目前的工作就是辉光放电在分析上的应用，尤其是脉冲放电。本综述通过说明如何在等离子体点火阶段和余辉中观察到的特定的激发和电离过程可用于分析应用表明脉冲放电操作的优点。 在审查的第一部分的等离子体点火和脉冲等离子体的余辉期间发生的占主导地位的物理过程进行了综述。这两个阶段中，电子和溅射原子的人口的演变进行了讨论和相关的激发和电离过程。鉴于发生的过程的复杂性和各种中发表的论文提出的实验条件下，我们取得了一些努力，以指向出和比较中使用的各种实验调校的相关特征。在这次审查中的第二部分，脉冲放电两种质谱法和光发射技术的分析应用的介绍和讨论。在特定的时间分辨的信号采集的重要性指出。为什么脉冲状放电尚未在常规分析引入，尽管他们在连续模式明显的优点的问题进行了讨论。最后一个脉冲的辉光放电的应用表面和聚合物多层的界面分析的第一令人振奋的结果被示出。 引言 辉光放电（GD），其耦合到光发射（GDOES）或质谱（GDMS），现在是一个建立的技术用于固体样品[1,2]直接分析。特别是，当格林型源[3]使用或基于格林几