米シアーゴ社製memsサーマル方式液体流量センサーfsl1.docVIP

毎分50マイクロリットルの超微小液体流量を測定米シアーゴ社製MEMSサーマル方式液体流量センサーFSL1000シリーズの販売開始 2009年7月9日 丸紅情報システムズ株式会社　広報課 丸紅情報システムズ株式会社（本社：渋谷区渋谷3-12-18 社長 小川　和夫）は、流量センサー *1 専門企業の米シアーゴ（Siargo）社 2041 Mission College Boulevard, Suite 250, Santa Clara, CA 95054 USA、 社長 Liji Huang 氏 製の液体流量センサーFSL1000 シリーズの販売を7月9日より開始します。 シアーゴ社FSL1000 シリーズは、MEMS（*2）技術を活用した、温度センサーの技術により、液体流量を計測します。配管内に設置し、液体を微小のヒーターで暖め、その先にあるMEMSセンサー上を通過する際、流れる速度や質量に伴う温度の変化を元に液体流量を測定します。超音波や歯車による測定方式とは異なります。毎分50マイクロリットルの超微小液体流量を計測することができるため、生産設備や液体分析機器等の液体制御の分野に使用できます。 外寸は、幅34mm、高さ49mm、奥行き18.5mmからで、流量レンジによって５種類のパッケージがあります。 製品のラインナップは、口径が1mmの「FSL1001」、3mmの「FSL1003」/「FSL1003P」、8mmの「FSL1008」/「FSL1008P」の五つです。接液部の材料は、ポリカーボネート樹脂です。標準製品で計測可能な液体は水、灯油およびエンジンオイルです。その他の液体については、顧客の要望により仕様を変更するなど、個別に対応します。FSL1000シリーズは、①アラーム機能を持つバブル検出機能、②バッテリー駆動可能な省電力の二つの特長をもっています。 また、シアーゴ社独自のMEMS構造をもった温度センサーは、表面を窒化シリコンセラミックの薄いフィルムと特殊なナノコーティングで保護し、高い耐水性能と耐薬剤性能を持っています *3 。従来の機械式液体流量センサーより高精度で、かつ半分以下の低価格を実現しました。　 液体流量センサーFSL1000 シリーズの標準価格は、13,000円（税別）から22,000円（税別）です。 丸紅情報システムズでは、医療機器、薬品製造、ボイラー等の燃料制御、潤滑油制御その他、水をはじめとする液体流量を計測する工業計器や生産設備向けに販売します。初年度3千万円、3年後2億円の売上をめざします。 液体フローセンサー製品の仕様は以下のとおりです。 製品名 FSL1001 FSL1003P FSL1003 FSL1008P FSL1008 単位 測定レンジ 水 0～8 0～70 0～70 0～500 0～500 mL/min 32#エンジンオイル 0～5 0～50 0～50 0～300 0～300 mL/min 灯油 0～3 0～30 0～30 0～200 0～200 mL/min ±2.0 %Rd 再現性±1.0 %Rd 出力　（補足※１） アナログ：0.5～4.5Vdc / RS232 / I2C応答時間100以下 msec 電源8～18Vdc 動作温度0～+70℃ 最大圧力 0.5 0.2 0.8 0.2 0.5 MPa Oリング Vノズル NPT1/4, RC1/4 NPT1/4 NPT1/4, RC1/4 パッケージポリカーボネート （*1） 流量センサー：通称マスフロー（質量流量）センサー。流体の流れを、その質量で求めるセンサーで、実際に流体が流れた量を正確に測定可能。タービン等の機械式センサーでは流量を体積で計測するが、流体は温度や圧力で体積が異なるので、これらの要素を使って補正計算をする必要がある。 （*2） MEMS : Micro Electro Mechanical Systems。機械系とともに電気?電子回路も微細化して組み込んだシステム。半導体の製造工程を利用して量産することが可能。 （*3） シアーゴ社の流量センサーは、微小のヒーターで暖めた流体がセンサー上を通過する際、流れる速度や質量に伴う温度の変化を元に流量を測定します。幅2mm、長さ4mmのシリコン基板上にMEMS製造技術で生産するため、品質のばらつきが少ないことが特長です。また、センサーチップの表面は、ナノ単位（*4）の厚さのシリコン膜で保護されており、水滴や微粒子の付着、圧力による損壊、経年劣化を防ぎます。 （図）MEMSセンサーチップ図 （*4） ナノ単位：1ナノメートル 0.000 000 001メートル（10－9m） 【シアーゴ（Siargo）社について】 シアーゴ社は、200