光mems器件李振讲解.ppt

下载文档 降价啦

2
0
约小于1千字
约 14页
2016-09-16 发布于湖北
举报
版权申诉
保障服务

光mems器件李振讲解.ppt

1、本文档共14页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

无源光MEMS器件应用李振Passive optical device application 典型元件反射镜衍射光闸光传输线主要应用匹配WDM系统的微光纤器件微型的医疗器具（光纤内窥镜）图像投射显示光MEMS通信器件可变光衰减器(VOA) 静电力可调型倾斜镜 SOI智能材料加工（DIRE深反应离子刻蚀）光MEMS通信器件可变光衰减器(VOA) 直径：6mm 厚度：30um 单晶硅抗扭梁：1.5um宽 150um长工作电压：5V 将信号调节为40dB或更高抗静电和温度干扰机械稳定性光MEMS通信器件可变光衰减器(VOA) 实现光网络的关键性器件广泛应用在光纤网络系统中光MEMS医疗器件光纤内窥镜单模光纤传输信号（静电处理）光伏电池全光路内窥镜光MEMS医疗器件光纤内窥镜避免降低了漏电现象的危险避免了电磁干扰光MEMS医疗器件 OCT系统（光学相干层析成像）直线扫描组织图像组织横断图像重组手指皮肤2D横断面图(1mm) 光MEMS医疗器件手指皮肤2D横断面图(1mm) 光学相干层析成像是一种新的三维层析成像技术。OCT基于低相干干涉原理获得深度方向的层析能力，通过扫描可以重构出生物组织或材料内部结构的二维或三维图像，其信号对比度源于生物组织或材料内部光学反射（散射）特性的空间变化。光学相干层析成像(OCT) 非接触非侵入成像速度快（实时动态成像）探测灵敏度高光MEMS显示器件图像投射显示内部常平支架（高谐振频率）外构架和曲折悬挂架（准静态）水平方向高频响应/垂直方向低频响应高分辨率图像强度调制激光源